6 ਇੰਚ SiC Epitaxiy ਵੇਫਰ N/P ਕਿਸਮ ਕਸਟਮਾਈਜ਼ਡ ਸਵੀਕਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (ਸੀਵੀਡੀ) ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਵਿਧੀ ਹੈ।ਹੇਠਾਂ ਸੰਬੰਧਿਤ ਤਕਨੀਕੀ ਸਿਧਾਂਤ ਅਤੇ ਤਿਆਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ ਹਨ:
ਤਕਨੀਕੀ ਸਿਧਾਂਤ:
ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ: ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀ ਗੈਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਖਾਸ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ, ਇਸ ਨੂੰ ਘਟਾਓਣਾ ਅਤੇ ਲੋੜੀਦੀ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਗੈਸ-ਪੜਾਅ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ: ਪਾਈਰੋਲਿਸਿਸ ਜਾਂ ਕਰੈਕਿੰਗ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ, ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਵੱਖ ਵੱਖ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬਦਲਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਤਿਆਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ:
ਸਬਸਟਰੇਟ ਟ੍ਰੀਟਮੈਂਟ: ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਏਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਾਲਿਨਿਟੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸਫਾਈ ਅਤੇ ਪ੍ਰੀ-ਟਰੀਟਮੈਂਟ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਡੀਬੱਗਿੰਗ: ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ, ਦਬਾਅ ਅਤੇ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ ਅਤੇ ਹੋਰ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰੋ।
ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀ ਸਪਲਾਈ: ਲੋੜੀਂਦੇ ਗੈਸ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਸਪਲਾਈ ਕਰੋ, ਲੋੜ ਅਨੁਸਾਰ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਮਿਲਾਓ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰੋ।
ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ: ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਨਾਲ, ਗੈਸੀ ਫੀਡਸਟੌਕ ਲੋੜੀਂਦੇ ਡਿਪਾਜ਼ਿਟ, ਭਾਵ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਫਿਲਮ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਰਸਾਇਣਕ ਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦਾ ਹੈ।
ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ: ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਨੂੰ ਠੰਡਾ ਕਰਨ ਅਤੇ ਠੋਸ ਕਰਨ ਲਈ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਹੌਲੀ ਹੌਲੀ ਘਟਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਐਨੀਲਿੰਗ ਅਤੇ ਪੋਸਟ-ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ: ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਗਏ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਇਸ ਦੀਆਂ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਅਤੇ ਆਪਟੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਐਨੀਲਡ ਅਤੇ ਪੋਸਟ-ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਖਾਸ ਕਦਮ ਅਤੇ ਸ਼ਰਤਾਂ ਖਾਸ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਅਤੇ ਲੋੜਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।ਉਪਰੋਕਤ ਸਿਰਫ ਇੱਕ ਆਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਸਿਧਾਂਤ ਹੈ, ਖਾਸ ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਅਸਲ ਸਥਿਤੀ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਐਡਜਸਟ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈ.
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
