8 ਇੰਚ SiC ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ ਵੇਫਰ 4H-N SiC ਸਬਸਟਰੇਟ
ਹੇਠ ਦਿੱਤੀ ਸਾਰਣੀ ਸਾਡੇ 8 ਇੰਚ ਦੇ SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ:
| 8 ਇੰਚ N-ਟਾਈਪ SiC DSP ਸਪੈਕਸ | |||||
| ਨੰਬਰ | ਆਈਟਮ | ਯੂਨਿਟ | ਉਤਪਾਦਨ | ਖੋਜ | ਡਮੀ |
| 1: ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 1.1 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ਸਤ੍ਹਾ ਸਥਿਤੀ | ° | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 | <11-20> 4±0.5 |
| 2: ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 2.1 | ਡੋਪੈਂਟ | -- | n-ਕਿਸਮ ਦਾ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਦਾ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਦਾ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ |
| 2.2 | ਰੋਧਕਤਾ | ਓਮ · ਸੈਮੀ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 3.1 | ਵਿਆਸ | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ਮੋਟਾਈ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | ਨੌਚ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ਨੌਚ ਡੂੰਘਾਈ | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | ਐਲਟੀਵੀ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | ਟੀਟੀਵੀ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ਧਨੁਸ਼ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ਵਾਰਪ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | ਏ.ਐਫ.ਐਮ. | nm | ਰਾ≤0.2 | ਰਾ≤0.2 | ਰਾ≤0.2 |
| 4: ਢਾਂਚਾ | |||||
| 4.1 | ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | ਈਏ/ਸੈਮੀ2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ਧਾਤ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ | ਪਰਮਾਣੂ/ਸੈਮੀ2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ਟੀਐਸਡੀ | ਈਏ/ਸੈਮੀ2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ਬੀਪੀਡੀ | ਈਏ/ਸੈਮੀ2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ਟੈੱਡ | ਈਏ/ਸੈਮੀ2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. ਸਾਹਮਣੇ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||||
| 5.1 | ਸਾਹਮਣੇ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸਮਾਪਤੀ | -- | ਸੀ-ਫੇਸ ਸੀ.ਐਮ.ਪੀ. | ਸੀ-ਫੇਸ ਸੀ.ਐਮ.ਪੀ. | ਸੀ-ਫੇਸ ਸੀ.ਐਮ.ਪੀ. |
| 5.3 | ਕਣ | ਈਏ/ਵੇਫਰ | ≤100(ਆਕਾਰ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ਸਕ੍ਰੈਚ | ਈਏ/ਵੇਫਰ | ≤5, ਕੁੱਲ ਲੰਬਾਈ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | ਕਿਨਾਰਾ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟ/ਤਰਾਰਾਂ/ਦਾਗ/ਦੂਸ਼ਣ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 5.6 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਖੇਤਰਫਲ ≤10% | ਖੇਤਰਫਲ ≤30% |
| 5.7 | ਸਾਹਮਣੇ ਦੀ ਨਿਸ਼ਾਨਦੇਹੀ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ |
| 6:ਪਿਛਲੀ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||||
| 6.1 | ਬੈਕ ਫਿਨਿਸ਼ | -- | ਸੀ-ਫੇਸ ਐਮਪੀ | ਸੀ-ਫੇਸ ਐਮਪੀ | ਸੀ-ਫੇਸ ਐਮਪੀ |
| 6.2 | ਸਕ੍ਰੈਚ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ਪਿੱਠ ਦੇ ਨੁਕਸ ਵਾਲੇ ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 6.4 | ਪਿੱਠ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ | nm | ਰਾ≤5 | ਰਾ≤5 | ਰਾ≤5 |
| 6.5 | ਬੈਕ ਮਾਰਕਿੰਗ | -- | ਨੌਚ | ਨੌਚ | ਨੌਚ |
| 7: ਕਿਨਾਰਾ | |||||
| 7.1 | ਕਿਨਾਰਾ | -- | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ |
| 8: ਪੈਕੇਜ | |||||
| 8.1 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਵੈਕਿਊਮ ਦੇ ਨਾਲ ਐਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਦੇ ਨਾਲ ਐਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਦੇ ਨਾਲ ਐਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ |
| 8.2 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕਿੰਗ |
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
ਆਪਣਾ ਸੁਨੇਹਾ ਇੱਥੇ ਲਿਖੋ ਅਤੇ ਸਾਨੂੰ ਭੇਜੋ।