8 ਇੰਚ SiC ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ ਵੇਫਰ 4H-N SiC ਸਬਸਟਰੇਟ
ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੀ ਸਾਰਣੀ ਸਾਡੇ 8 ਇੰਚ SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ:
| 8 ਇੰਚ ਐਨ-ਟਾਈਪ SiC DSP ਸਪੈਕਸ | |||||
| ਨੰਬਰ | ਆਈਟਮ | ਯੂਨਿਟ | ਉਤਪਾਦਨ | ਖੋਜ | ਨਕਲੀ |
| 1:ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 1.1 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ਸਤਹ ਸਥਿਤੀ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 2.1 | ਡੋਪੈਂਟ | -- | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ |
| 2.2 | ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 3.1 | ਵਿਆਸ | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ਮੋਟਾਈ | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | ਨੌਚ ਸਥਿਤੀ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ਨੌਚ ਡੂੰਘਾਈ | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | ਟੀ.ਟੀ.ਵੀ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ਕਮਾਨ | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ਵਾਰਪ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: ਬਣਤਰ | |||||
| 4.1 | ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ਧਾਤ ਸਮੱਗਰੀ | ਪਰਮਾਣੂ/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ਟੀ.ਐੱਸ.ਡੀ | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ਬੀ.ਪੀ.ਡੀ | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. ਸਾਹਮਣੇ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||||
| 5.1 | ਸਾਹਮਣੇ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ਸਤਹ ਮੁਕੰਮਲ | -- | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ਸੀ-ਫੇਸ CMP |
| 5.3 | ਕਣ | ea/wafer | ≤100(ਆਕਾਰ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ਸਕ੍ਰੈਚ | ea/wafer | ≤5, ਕੁੱਲ ਲੰਬਾਈ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | ਕਿਨਾਰਾ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ/ਕਰੈਕ/ਦਾਗ/ਗੰਦਗੀ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 5.6 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਖੇਤਰਫਲ ≤10% | ਖੇਤਰਫਲ ≤30% |
| 5.7 | ਸਾਹਮਣੇ ਮਾਰਕਿੰਗ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ |
| 6: ਬੈਕ ਕੁਆਲਿਟੀ | |||||
| 6.1 | ਵਾਪਸ ਮੁਕੰਮਲ | -- | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ |
| 6.2 | ਸਕ੍ਰੈਚ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ਪਿੱਛੇ ਨੁਕਸ ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 6.4 | ਵਾਪਸ ਮੋਟਾਪਨ | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ਬੈਕ ਮਾਰਕਿੰਗ | -- | ਨੌਚ | ਨੌਚ | ਨੌਚ |
| 7: ਕਿਨਾਰਾ | |||||
| 7.1 | ਕਿਨਾਰਾ | -- | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ |
| 8: ਪੈਕੇਜ | |||||
| 8.1 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ |
| 8.2 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ |
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
ਆਪਣਾ ਸੁਨੇਹਾ ਇੱਥੇ ਲਿਖੋ ਅਤੇ ਸਾਨੂੰ ਭੇਜੋ
