ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਵੇਫਰ ਰਿੰਗ-ਕਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਵਰਕਿੰਗ ਸਾਈਜ਼ 8 ਇੰਚ/12 ਇੰਚ ਵੇਫਰ ਰਿੰਗ ਕਟਿੰਗ
ਤਕਨੀਕੀ ਮਾਪਦੰਡ
ਪੈਰਾਮੀਟਰ | ਯੂਨਿਟ | ਨਿਰਧਾਰਨ |
ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਕਪੀਸ ਆਕਾਰ | mm | ø12" |
ਸਪਿੰਡਲ | ਸੰਰਚਨਾ | ਸਿੰਗਲ ਸਪਿੰਡਲ |
ਗਤੀ | 3,000–60,000 ਆਰਪੀਐਮ | |
ਆਉਟਪੁੱਟ ਪਾਵਰ | 30,000 ਮਿੰਟ⁻¹ 'ਤੇ 1.8 ਕਿਲੋਵਾਟ (2.4 ਵਿਕਲਪਿਕ) | |
ਮੈਕਸ ਬਲੇਡ ਦਿਆ। | Ø58 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
ਐਕਸ-ਐਕਸਿਸ | ਕੱਟਣ ਦੀ ਰੇਂਜ | 310 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
Y-ਧੁਰਾ | ਕੱਟਣ ਦੀ ਰੇਂਜ | 310 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
ਕਦਮ ਵਾਧਾ | 0.0001 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
ਸਥਿਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ≤0.003 ਮਿਲੀਮੀਟਰ/310 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ≤0.002 ਮਿਲੀਮੀਟਰ/5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ (ਸਿੰਗਲ ਗਲਤੀ) | |
Z-ਐਕਸਿਸ | ਅੰਦੋਲਨ ਦਾ ਮਤਾ | 0.00005 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ | 0.001 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
θ-ਧੁਰਾ | ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਰੋਟੇਸ਼ਨ | 380 ਡਿਗਰੀ |
ਸਪਿੰਡਲ ਕਿਸਮ | ਸਿੰਗਲ ਸਪਿੰਡਲ, ਰਿੰਗ ਕੱਟਣ ਲਈ ਸਖ਼ਤ ਬਲੇਡ ਨਾਲ ਲੈਸ | |
ਰਿੰਗ-ਕਟਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | ±50 |
ਵੇਫਰ ਪੋਜੀਸ਼ਨਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ | ±50 |
ਸਿੰਗਲ-ਵੇਫਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ | ਘੱਟੋ-ਘੱਟ/ਵੇਫਰ | 8 |
ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ | ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ 4 ਵੇਫਰਾਂ ਤੱਕ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ | |
ਉਪਕਰਣ ਭਾਰ | kg | ≈3,200 |
ਉਪਕਰਣ ਦੇ ਮਾਪ (W×D×H) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਸਿਧਾਂਤ
ਇਹ ਸਿਸਟਮ ਇਹਨਾਂ ਮੁੱਖ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਰਾਹੀਂ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਟ੍ਰਿਮਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ:
1. ਬੁੱਧੀਮਾਨ ਗਤੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀ:
· ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰ ਡਰਾਈਵ (ਪੁਜੀਸ਼ਨਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੁਹਰਾਓ: ±0.5μm)
· ਛੇ-ਧੁਰੀ ਸਮਕਾਲੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਜੋ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਟ੍ਰੈਜੈਕਟਰੀ ਯੋਜਨਾਬੰਦੀ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ
· ਕੱਟਣ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਵਾਲੇ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਦਮਨ ਐਲਗੋਰਿਦਮ
2. ਐਡਵਾਂਸਡ ਡਿਟੈਕਸ਼ਨ ਸਿਸਟਮ:
· ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ 3D ਲੇਜ਼ਰ ਉਚਾਈ ਸੈਂਸਰ (ਸ਼ੁੱਧਤਾ: 0.1μm)
· ਉੱਚ-ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ CCD ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਪੋਜੀਸ਼ਨਿੰਗ (5 ਮੈਗਾਪਿਕਸਲ)
· ਔਨਲਾਈਨ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨਿਰੀਖਣ ਮੋਡੀਊਲ
3. ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਵੈਚਾਲਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:
· ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਲੋਡਿੰਗ/ਅਨਲੋਡਿੰਗ (FOUP ਸਟੈਂਡਰਡ ਇੰਟਰਫੇਸ ਅਨੁਕੂਲ)
· ਬੁੱਧੀਮਾਨ ਛਾਂਟੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ
· ਬੰਦ-ਲੂਪ ਸਫਾਈ ਯੂਨਿਟ (ਸਫਾਈ: ਕਲਾਸ 10)
ਆਮ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ
ਇਹ ਉਪਕਰਣ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮੁੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ:
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਖੇਤਰ | ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਮੱਗਰੀ | ਤਕਨੀਕੀ ਫਾਇਦੇ |
ਆਈਸੀ ਨਿਰਮਾਣ | 8/12" ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ | ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ |
ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ | SiC/GaN ਵੇਫਰ | ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ |
MEMS ਸੈਂਸਰ | SOI ਵੇਫਰ | ਡਿਵਾਈਸ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ |
ਆਰਐਫ ਡਿਵਾਈਸਾਂ | GaAs ਵੇਫਰ | ਉੱਚ-ਵਾਰਵਾਰਤਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ |
ਉੱਨਤ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਪੁਨਰਗਠਿਤ ਵੇਫਰ | ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਉਪਜ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ |
ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
1. ਉੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਲਈ ਚਾਰ-ਸਟੇਸ਼ਨ ਸੰਰਚਨਾ;
2. ਸਥਿਰ TAIKO ਰਿੰਗ ਡੀਬੌਂਡਿੰਗ ਅਤੇ ਹਟਾਉਣਾ;
3. ਮੁੱਖ ਖਪਤਕਾਰਾਂ ਨਾਲ ਉੱਚ ਅਨੁਕੂਲਤਾ;
4. ਮਲਟੀ-ਐਕਸਿਸ ਸਿੰਕ੍ਰੋਨਸ ਟ੍ਰਿਮਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸਟੀਕਸ਼ਨ ਐਜ ਕਟਿੰਗ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ;
5. ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਵੈਚਾਲਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹ ਕਿਰਤ ਦੀ ਲਾਗਤ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ;
6. ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਵਰਕਟੇਬਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਢਾਂਚਿਆਂ ਦੀ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ;
ਫੰਕਸ਼ਨ
1. ਰਿੰਗ-ਡ੍ਰੌਪ ਖੋਜ ਪ੍ਰਣਾਲੀ;
2. ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਵਰਕਟੇਬਲ ਸਫਾਈ;
3. ਬੁੱਧੀਮਾਨ ਯੂਵੀ ਡੀਬੌਂਡਿੰਗ ਸਿਸਟਮ;
4. ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਲਾਗ ਰਿਕਾਰਡਿੰਗ;
5. ਫੈਕਟਰੀ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਮੋਡੀਊਲ ਏਕੀਕਰਨ;
ਸੇਵਾ ਪ੍ਰਤੀ ਵਚਨਬੱਧਤਾ
XKH ਤੁਹਾਡੇ ਉਤਪਾਦਨ ਸਫ਼ਰ ਦੌਰਾਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਸੰਚਾਲਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਵਿਆਪਕ, ਪੂਰੀ ਜੀਵਨ ਚੱਕਰ ਸਹਾਇਤਾ ਸੇਵਾਵਾਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
1. ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਸੇਵਾਵਾਂ
· ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਉਪਕਰਣ ਸੰਰਚਨਾ: ਸਾਡੀ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਖਾਸ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ (Si/SiC/GaAs) ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਸਿਸਟਮ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ (ਕੱਟਣ ਦੀ ਗਤੀ, ਬਲੇਡ ਚੋਣ, ਆਦਿ) ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਗਾਹਕਾਂ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਸਹਿਯੋਗ ਕਰਦੀ ਹੈ।
· ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਕਾਸ ਸਹਾਇਤਾ: ਅਸੀਂ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਰਿਪੋਰਟਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਨਮੂਨਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਮਾਪ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਮੈਪਿੰਗ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।
· ਖਪਤਕਾਰੀ ਵਸਤਾਂ ਦਾ ਸਹਿ-ਵਿਕਾਸ: ਨਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ Ga₂O₃) ਲਈ, ਅਸੀਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ-ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਬਲੇਡ/ਲੇਜ਼ਰ ਆਪਟਿਕਸ ਵਿਕਸਤ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਖਪਤਕਾਰੀ ਨਿਰਮਾਤਾਵਾਂ ਨਾਲ ਭਾਈਵਾਲੀ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।
2. ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਤਕਨੀਕੀ ਸਹਾਇਤਾ
· ਸਮਰਪਿਤ ਆਨ-ਸਾਈਟ ਸਹਾਇਤਾ: ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਰੈਂਪ-ਅੱਪ ਪੜਾਵਾਂ (ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 2-4 ਹਫ਼ਤੇ) ਲਈ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੁਕਤ ਕਰੋ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
ਉਪਕਰਣ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਵਧੀਆ ਬਣਾਉਣਾ
ਆਪਰੇਟਰ ਯੋਗਤਾ ਸਿਖਲਾਈ
ISO ਕਲਾਸ 5 ਕਲੀਨਰੂਮ ਏਕੀਕਰਣ ਮਾਰਗਦਰਸ਼ਨ
· ਭਵਿੱਖਬਾਣੀ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ: ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਲਈ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਅਤੇ ਸਰਵੋ ਮੋਟਰ ਡਾਇਗਨੌਸਟਿਕਸ ਦੇ ਨਾਲ ਤਿਮਾਹੀ ਸਿਹਤ ਜਾਂਚ।
· ਰਿਮੋਟ ਨਿਗਰਾਨੀ: ਸਾਡੇ IoT ਪਲੇਟਫਾਰਮ (JCFront Connect®) ਰਾਹੀਂ ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਅਨੌਮਲੀ ਅਲਰਟ ਦੇ ਨਾਲ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਉਪਕਰਣ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਟਰੈਕਿੰਗ।
3. ਮੁੱਲ-ਵਰਧਿਤ ਸੇਵਾਵਾਂ
· ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗਿਆਨ ਅਧਾਰ: ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਲਈ 300+ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਕੱਟਣ ਵਾਲੀਆਂ ਪਕਵਾਨਾਂ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਕਰੋ (ਤਿਮਾਹੀ ਅੱਪਡੇਟ)।
· ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਰੋਡਮੈਪ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ: ਹਾਰਡਵੇਅਰ/ਸਾਫਟਵੇਅਰ ਅੱਪਗ੍ਰੇਡ ਮਾਰਗਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, AI-ਅਧਾਰਿਤ ਨੁਕਸ ਖੋਜ ਮੋਡੀਊਲ) ਨਾਲ ਆਪਣੇ ਨਿਵੇਸ਼ ਨੂੰ ਭਵਿੱਖ-ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਕਰੋ।
· ਐਮਰਜੈਂਸੀ ਰਿਸਪਾਂਸ: 4-ਘੰਟੇ ਰਿਮੋਟ ਡਾਇਗਨੋਸਿਸ ਅਤੇ 48-ਘੰਟੇ ਔਨ-ਸਾਈਟ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ (ਗਲੋਬਲ ਕਵਰੇਜ) ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਹੈ।
4. ਸੇਵਾ ਬੁਨਿਆਦੀ ਢਾਂਚਾ
· ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਗਰੰਟੀ: SLA-ਸਮਰਥਿਤ ਜਵਾਬ ਸਮੇਂ ਦੇ ਨਾਲ ≥98% ਉਪਕਰਣ ਅਪਟਾਈਮ ਲਈ ਇਕਰਾਰਨਾਮੇ ਅਨੁਸਾਰ ਵਚਨਬੱਧਤਾ।
ਨਿਰੰਤਰ ਸੁਧਾਰ
ਅਸੀਂ ਹਰ ਦੋ ਸਾਲਾਂ ਵਿੱਚ ਗਾਹਕ ਸੰਤੁਸ਼ਟੀ ਸਰਵੇਖਣ ਕਰਦੇ ਹਾਂ ਅਤੇ ਸੇਵਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਕਾਈਜ਼ੇਨ ਪਹਿਲਕਦਮੀਆਂ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਦੇ ਹਾਂ। ਸਾਡੀ ਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਟੀਮ ਫੀਲਡ ਇਨਸਾਈਟਸ ਨੂੰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਅੱਪਗ੍ਰੇਡਾਂ ਵਿੱਚ ਅਨੁਵਾਦ ਕਰਦੀ ਹੈ - ਫਰਮਵੇਅਰ ਸੁਧਾਰਾਂ ਦਾ 30% ਕਲਾਇੰਟ ਫੀਡਬੈਕ ਤੋਂ ਉਤਪੰਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

