ਵੇਫਰ ਮੈਨੂਫੈਕਚਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਐਸਪੀਸੀ ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਡੂੰਘੀ ਸਮਝ

1. SPC ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ

SPC ਇੱਕ ਵਿਧੀ ਹੈ ਜੋ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਰਨ ਲਈ ਅੰਕੜਾ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਕਾਰਜ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੇ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਇਕੱਤਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਕੇ, ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਸਮਾਯੋਜਨ ਅਤੇ ਫੈਸਲੇ ਲੈਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਕੇ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਿਗਾੜਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣਾ ਹੈ। SPC ਦਾ ਟੀਚਾ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਪਰਿਵਰਤਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਕਿ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸਥਿਰ ਰਹੇ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰੇ।

ਐਸਪੀਸੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ:

ਨਾਜ਼ੁਕ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰੋ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਚ ਦੀ ਦਰ, ਆਰਐਫ ਪਾਵਰ, ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਤਾਪਮਾਨ, ਆਦਿ)

ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸੂਚਕਾਂ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰੋ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਲਾਈਨਵਿਡਥ, ਐਚ ਦੀ ਡੂੰਘਾਈ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ, ਆਦਿ)

ਇਹਨਾਂ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦੁਆਰਾ, ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਗਿਰਾਵਟ ਜਾਂ ਭਟਕਣਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਰੁਝਾਨਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਕ੍ਰੈਪ ਦੀਆਂ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ।

2. SPC ਸਿਸਟਮ ਦੇ ਮੂਲ ਭਾਗ

SPC ਸਿਸਟਮ ਕਈ ਮੁੱਖ ਮੋਡੀਊਲਾਂ ਨਾਲ ਬਣਿਆ ਹੈ:

ਡੇਟਾ ਕਲੈਕਸ਼ਨ ਮੋਡੀਊਲ: ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, FDC, EES ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਰਾਹੀਂ) ਤੋਂ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦਾ ਡੇਟਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ ਨੂੰ ਰਿਕਾਰਡ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟ ਮੋਡੀਊਲ: ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਕਲਪਨਾ ਕਰਨ ਅਤੇ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿ ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਹੈ, ਅੰਕੜਾ ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਕਸ-ਬਾਰ ਚਾਰਟ, ਆਰ ਚਾਰਟ, ਸੀਪੀ/ਸੀਪੀਕੇ ਚਾਰਟ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਅਲਾਰਮ ਸਿਸਟਮ: ਜਦੋਂ ਨਾਜ਼ੁਕ ਮਾਪਦੰਡ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਾਂ ਰੁਝਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦਿਖਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਕਾਰਵਾਈ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰੇਰਦੇ ਹੋਏ ਅਲਾਰਮ ਚਾਲੂ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਅਤੇ ਰਿਪੋਰਟਿੰਗ ਮੋਡੀਊਲ: ਐਸਪੀਸੀ ਚਾਰਟ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਵਿਗਾੜਾਂ ਦੇ ਮੂਲ ਕਾਰਨ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਿਯਮਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਲਈ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਰਿਪੋਰਟਾਂ ਤਿਆਰ ਕਰਦਾ ਹੈ।

3. SPC ਵਿੱਚ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ ਦੀ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਵਿਆਖਿਆ

ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟ SPC ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਾਧਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹਨ, ਜੋ "ਆਮ ਪਰਿਵਰਤਨ" (ਕੁਦਰਤੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ) ਅਤੇ "ਅਸਾਧਾਰਨ ਪਰਿਵਰਤਨ" (ਸਾਮਾਨ ਦੀਆਂ ਅਸਫਲਤਾਵਾਂ ਜਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਭਟਕਣ ਦੇ ਕਾਰਨ) ਵਿਚਕਾਰ ਫਰਕ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਆਮ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

ਐਕਸ-ਬਾਰ ਅਤੇ ਆਰ ਚਾਰਟਸ: ਪ੍ਰੋਡਕਸ਼ਨ ਬੈਚਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਮਾਧਿਅਮ ਅਤੇ ਰੇਂਜ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰ ਹੈ।

Cp ਅਤੇ Cpk ਸੂਚਕਾਂਕ: ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਭਾਵ, ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਉਟਪੁੱਟ ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਰਧਾਰਨ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। Cp ਸੰਭਾਵੀ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ Cpk ਨਿਰਧਾਰਨ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕੇਂਦਰ ਦੇ ਭਟਕਣ ਨੂੰ ਸਮਝਦਾ ਹੈ।

ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਤੁਸੀਂ ਐਚਿੰਗ ਰੇਟ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਵਰਗੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਜੇਕਰ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਕਿਸੇ ਖਾਸ ਟੁਕੜੇ ਦੀ ਐਚ ਦੀ ਦਰ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਤੁਸੀਂ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ ਕਿ ਇਹ ਇੱਕ ਕੁਦਰਤੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਹੈ ਜਾਂ ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਖਰਾਬੀ ਦਾ ਸੰਕੇਤ ਹੈ।

4. ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਵਿੱਚ ਐਸਪੀਸੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ

ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨਾ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਅਤੇ SPC ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ:

ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ: FDC ਵਰਗੇ ਸਿਸਟਮ ਐਚਿੰਗ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਮੁੱਖ ਮਾਪਦੰਡਾਂ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, RF ਪਾਵਰ, ਗੈਸ ਵਹਾਅ) 'ਤੇ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦਾ ਡਾਟਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸੰਭਾਵੀ ਉਪਕਰਣ ਮੁੱਦਿਆਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਇਸ ਡੇਟਾ ਨੂੰ SPC ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ ਨਾਲ ਜੋੜਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜੇਕਰ ਤੁਸੀਂ ਦੇਖਦੇ ਹੋ ਕਿ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ 'ਤੇ ਆਰਐਫ ਪਾਵਰ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਸੈੱਟ ਮੁੱਲ ਤੋਂ ਭਟਕ ਰਹੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਤੁਸੀਂ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਐਡਜਸਟਮੈਂਟ ਜਾਂ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਲਈ ਛੇਤੀ ਕਾਰਵਾਈ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ।

ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ: ਤੁਸੀਂ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ SPC ਸਿਸਟਮ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦ ਗੁਣਵੱਤਾ ਮਾਪਦੰਡ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਦੀ ਡੂੰਘਾਈ, ਲਾਈਨਵਿਡਥ) ਵੀ ਇਨਪੁਟ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਜੇਕਰ ਕੁਝ ਨਾਜ਼ੁਕ ਉਤਪਾਦ ਸੰਕੇਤਕ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਟੀਚੇ ਦੇ ਮੁੱਲਾਂ ਤੋਂ ਭਟਕ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ SPC ਸਿਸਟਮ ਇੱਕ ਅਲਾਰਮ ਜਾਰੀ ਕਰੇਗਾ, ਇਹ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਸਮਾਯੋਜਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ।

ਨਿਵਾਰਕ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ (PM): SPC ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਲਈ ਰੋਕਥਾਮ ਵਾਲੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਚੱਕਰ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ 'ਤੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਡੇਟਾ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਕੇ, ਤੁਸੀਂ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਸਮਾਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, RF ਪਾਵਰ ਅਤੇ ESC ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਕੇ, ਤੁਸੀਂ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ ਕਿ ਕਦੋਂ ਸਫਾਈ ਜਾਂ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਅਸਫਲਤਾ ਦਰਾਂ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ।

5. SPC ਸਿਸਟਮ ਲਈ ਰੋਜ਼ਾਨਾ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਸੁਝਾਅ

ਰੋਜ਼ਾਨਾ ਦੇ ਕੰਮਕਾਜ ਵਿੱਚ SPC ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਕਦਮਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ:

ਕੁੰਜੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ (ਕੇਪੀਆਈ) ਨੂੰ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰੋ: ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਪਛਾਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਐਸਪੀਸੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਕਰੋ। ਇਹ ਮਾਪਦੰਡ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਸਬੰਧਤ ਹੋਣੇ ਚਾਹੀਦੇ ਹਨ।

ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਅਤੇ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਸੈਟ ਕਰੋ: ਇਤਿਹਾਸਕ ਡੇਟਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ, ਹਰੇਕ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਲਈ ਉਚਿਤ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਅਤੇ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰੋ। ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ±3σ (ਸਟੈਂਡਰਡ ਡਿਵੀਏਸ਼ਨ) 'ਤੇ ਸੈੱਟ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਉਪਕਰਨ ਦੀਆਂ ਖਾਸ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਡੇਟਾ ਰੁਝਾਨਾਂ ਅਤੇ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਲਈ ਨਿਯਮਤ ਤੌਰ 'ਤੇ SPC ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟਾਂ ਦੀ ਸਮੀਖਿਆ ਕਰੋ। ਜੇਕਰ ਕੁਝ ਮਾਪਦੰਡ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਤੁਰੰਤ ਕਾਰਵਾਈ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰਨਾ ਜਾਂ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਦੇਖਭਾਲ ਕਰਨਾ।

ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਰੂਟ ਕਾਰਨ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਜਦੋਂ ਕੋਈ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਵਾਪਰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ SPC ਸਿਸਟਮ ਘਟਨਾ ਬਾਰੇ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਜਾਣਕਾਰੀ ਰਿਕਾਰਡ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਤੁਹਾਨੂੰ ਇਸ ਜਾਣਕਾਰੀ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਦੇ ਮੂਲ ਕਾਰਨ ਦਾ ਨਿਪਟਾਰਾ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ। ਇਹ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿ ਕੀ ਇਹ ਮੁੱਦਾ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਅਸਫਲਤਾ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਭਟਕਣ, ਜਾਂ ਬਾਹਰੀ ਵਾਤਾਵਰਣਕ ਕਾਰਕਾਂ ਕਾਰਨ ਹੈ, FDC ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ, EES ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਆਦਿ ਤੋਂ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ ਅਕਸਰ ਸੰਭਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਨਿਰੰਤਰ ਸੁਧਾਰ: SPC ਸਿਸਟਮ ਦੁਆਰਾ ਦਰਜ ਕੀਤੇ ਗਏ ਇਤਿਹਾਸਕ ਡੇਟਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਕਮਜ਼ੋਰ ਬਿੰਦੂਆਂ ਦੀ ਪਛਾਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਯੋਜਨਾਵਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵ ਕਰੋ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੇ ਚੱਕਰਾਂ 'ਤੇ ESC ਉਮਰ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਦੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਓ।

6. ਪ੍ਰੈਕਟੀਕਲ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਕੇਸ

ਇੱਕ ਵਿਹਾਰਕ ਉਦਾਹਰਨ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਮੰਨ ਲਓ ਕਿ ਤੁਸੀਂ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ E-MAX ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹੋ, ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਕੈਥੋਡ ਸਮੇਂ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਖਰਾਬ ਹੋ ਰਿਹਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ D0 (BARC ਨੁਕਸ) ਦੇ ਮੁੱਲਾਂ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਹੋਇਆ ਹੈ। SPC ਸਿਸਟਮ ਦੁਆਰਾ RF ਪਾਵਰ ਅਤੇ ਐਚ ਦੀ ਦਰ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦੁਆਰਾ, ਤੁਸੀਂ ਇੱਕ ਰੁਝਾਨ ਦੇਖਦੇ ਹੋ ਜਿੱਥੇ ਇਹ ਮਾਪਦੰਡ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਆਪਣੇ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲਾਂ ਤੋਂ ਭਟਕ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇੱਕ SPC ਅਲਾਰਮ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਤੁਸੀਂ FDC ਸਿਸਟਮ ਤੋਂ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਜੋੜਦੇ ਹੋ ਅਤੇ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਹੋ ਕਿ ਸਮੱਸਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਅਸਥਿਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਾਰਨ ਹੋਈ ਹੈ। ਤੁਸੀਂ ਫਿਰ ਸਫਾਈ ਦੇ ਨਵੇਂ ਤਰੀਕਿਆਂ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀਆਂ ਰਣਨੀਤੀਆਂ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਦੇ ਹੋ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ D0 ਮੁੱਲ ਨੂੰ 4.3 ਤੋਂ 2.4 ਤੱਕ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹੋ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

7. XINKEHUI ਵਿੱਚ ਤੁਸੀਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ।

XINKEHUI ਵਿਖੇ, ਤੁਸੀਂ ਸੰਪੂਰਨ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਭਾਵੇਂ ਇਹ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਹੋਵੇ ਜਾਂ SiC ਵੇਫਰ। ਅਸੀਂ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਦਯੋਗਾਂ ਲਈ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹਾਂ।