ਐਸਪੀਸੀ (ਸਟੈਟਿਸਟੀਕਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੰਟਰੋਲ) ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਔਜ਼ਾਰ ਹੈ, ਜੋ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪੜਾਵਾਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ, ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
1. SPC ਸਿਸਟਮ ਦਾ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ
SPC ਇੱਕ ਅਜਿਹਾ ਤਰੀਕਾ ਹੈ ਜੋ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ ਅੰਕੜਾ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਕੰਮ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੇ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਇਕੱਠਾ ਕਰਕੇ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਕੇ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਿਗਾੜਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣਾ ਹੈ, ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਸਮਾਯੋਜਨ ਅਤੇ ਫੈਸਲੇ ਲੈਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਨਾ। SPC ਦਾ ਟੀਚਾ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਭਿੰਨਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ ਕਿ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸਥਿਰ ਰਹੇ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰੇ।
ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ SPC ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਇਸ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ:
ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਉਪਕਰਣ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰੋ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਐਚ ਰੇਟ, ਆਰਐਫ ਪਾਵਰ, ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਤਾਪਮਾਨ, ਆਦਿ)
ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸੂਚਕਾਂ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰੋ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਲਾਈਨਵਿਡਥ, ਐਚ ਡੂੰਘਾਈ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ, ਆਦਿ)
ਇਹਨਾਂ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਕੇ, ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਉਪਕਰਨਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਗਿਰਾਵਟ ਜਾਂ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਭਟਕਣਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਰੁਝਾਨਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਕ੍ਰੈਪ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
2. SPC ਸਿਸਟਮ ਦੇ ਮੁੱਢਲੇ ਹਿੱਸੇ
SPC ਸਿਸਟਮ ਕਈ ਮੁੱਖ ਮਾਡਿਊਲਾਂ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੈ:
ਡੇਟਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਮਾਡਿਊਲ: ਉਪਕਰਣਾਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ FDC, EES ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਰਾਹੀਂ) ਤੋਂ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦਾ ਡੇਟਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਨਤੀਜਿਆਂ ਨੂੰ ਰਿਕਾਰਡ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ ਮੋਡੀਊਲ: ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਕਲਪਨਾ ਕਰਨ ਅਤੇ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿ ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਹੈ, ਅੰਕੜਾ ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ X-ਬਾਰ ਚਾਰਟ, R ਚਾਰਟ, Cp/Cpk ਚਾਰਟ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਅਲਾਰਮ ਸਿਸਟਮ: ਜਦੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਦੰਡ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਾਂ ਰੁਝਾਨ ਵਿੱਚ ਬਦਲਾਅ ਦਿਖਾਉਂਦੇ ਹਨ ਤਾਂ ਅਲਾਰਮ ਚਾਲੂ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਕਾਰਵਾਈ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਅਤੇ ਰਿਪੋਰਟਿੰਗ ਮਾਡਿਊਲ: SPC ਚਾਰਟਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਵਿਗਾੜਾਂ ਦੇ ਮੂਲ ਕਾਰਨ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਿਯਮਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਰਿਪੋਰਟਾਂ ਤਿਆਰ ਕਰਦਾ ਹੈ।
3. SPC ਵਿੱਚ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟਾਂ ਦੀ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਵਿਆਖਿਆ
ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟ SPC ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਔਜ਼ਾਰਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹਨ, ਜੋ "ਆਮ ਪਰਿਵਰਤਨ" (ਕੁਦਰਤੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਕਾਰਨ) ਅਤੇ "ਅਸਾਧਾਰਨ ਪਰਿਵਰਤਨ" (ਉਪਕਰਨ ਅਸਫਲਤਾਵਾਂ ਜਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਕਾਰਨ) ਵਿਚਕਾਰ ਫਰਕ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਆਮ ਕੰਟਰੋਲ ਚਾਰਟਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
X-ਬਾਰ ਅਤੇ R ਚਾਰਟ: ਉਤਪਾਦਨ ਬੈਚਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਔਸਤ ਅਤੇ ਰੇਂਜ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇਹ ਦੇਖਿਆ ਜਾ ਸਕੇ ਕਿ ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰ ਹੈ।
Cp ਅਤੇ Cpk ਸੂਚਕਾਂਕ: ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਭਾਵ, ਕੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਉਟਪੁੱਟ ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਰਧਾਰਨ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। Cp ਸੰਭਾਵੀ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ Cpk ਨਿਰਧਾਰਨ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕੇਂਦਰ ਦੇ ਭਟਕਣ 'ਤੇ ਵਿਚਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਤੁਸੀਂ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਵਰਗੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਜੇਕਰ ਕਿਸੇ ਖਾਸ ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਤੁਸੀਂ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ ਕਿ ਇਹ ਇੱਕ ਕੁਦਰਤੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਹੈ ਜਾਂ ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਖਰਾਬੀ ਦਾ ਸੰਕੇਤ ਹੈ।
4. ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ SPC ਦੀ ਵਰਤੋਂ
ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ, ਅਤੇ SPC ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ:
ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ: FDC ਵਰਗੇ ਸਿਸਟਮ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਮਾਪਦੰਡਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ RF ਪਾਵਰ, ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ) 'ਤੇ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦਾ ਡੇਟਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸੰਭਾਵੀ ਉਪਕਰਣ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਇਸ ਡੇਟਾ ਨੂੰ SPC ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟਾਂ ਨਾਲ ਜੋੜਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਜੇਕਰ ਤੁਸੀਂ ਦੇਖਦੇ ਹੋ ਕਿ ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟ 'ਤੇ RF ਪਾਵਰ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲ ਤੋਂ ਭਟਕ ਰਹੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਤੁਸੀਂ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਸਮਾਯੋਜਨ ਜਾਂ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਲਈ ਜਲਦੀ ਕਾਰਵਾਈ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ।
ਉਤਪਾਦ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨਿਗਰਾਨੀ: ਤੁਸੀਂ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ SPC ਸਿਸਟਮ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦ ਗੁਣਵੱਤਾ ਮਾਪਦੰਡ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਐਚ ਡੂੰਘਾਈ, ਲਾਈਨਵਿਡਥ) ਵੀ ਇਨਪੁਟ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਜੇਕਰ ਕੁਝ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਉਤਪਾਦ ਸੂਚਕ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਟੀਚੇ ਦੇ ਮੁੱਲਾਂ ਤੋਂ ਭਟਕ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ SPC ਸਿਸਟਮ ਇੱਕ ਅਲਾਰਮ ਜਾਰੀ ਕਰੇਗਾ, ਜੋ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਮਾਯੋਜਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ।
ਰੋਕਥਾਮ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ (PM): SPC ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਰੋਕਥਾਮ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਚੱਕਰ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ 'ਤੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਡੇਟਾ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਕੇ, ਤੁਸੀਂ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਸਮਾਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, RF ਪਾਵਰ ਅਤੇ ESC ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਕੇ, ਤੁਸੀਂ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ ਕਿ ਕਦੋਂ ਸਫਾਈ ਜਾਂ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਅਸਫਲਤਾ ਦਰਾਂ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
5. SPC ਸਿਸਟਮ ਲਈ ਰੋਜ਼ਾਨਾ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਸੁਝਾਅ
ਰੋਜ਼ਾਨਾ ਦੇ ਕੰਮਾਂ ਵਿੱਚ SPC ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਕਦਮਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ:
ਮੁੱਖ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮਾਪਦੰਡ (KPI) ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰੋ: ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਪਛਾਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ SPC ਨਿਗਰਾਨੀ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਕਰੋ। ਇਹ ਮਾਪਦੰਡ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਸਬੰਧਤ ਹੋਣੇ ਚਾਹੀਦੇ ਹਨ।
ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਅਤੇ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਸੈੱਟ ਕਰੋ: ਇਤਿਹਾਸਕ ਡੇਟਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ, ਹਰੇਕ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਲਈ ਵਾਜਬ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਅਤੇ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਸੈੱਟ ਕਰੋ। ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ±3σ (ਮਿਆਰੀ ਵਿਵਹਾਰ) 'ਤੇ ਸੈੱਟ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਅਲਾਰਮ ਸੀਮਾਵਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀਆਂ ਖਾਸ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਡੇਟਾ ਰੁਝਾਨਾਂ ਅਤੇ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਲਈ ਨਿਯਮਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ SPC ਨਿਯੰਤਰਣ ਚਾਰਟਾਂ ਦੀ ਸਮੀਖਿਆ ਕਰੋ। ਜੇਕਰ ਕੁਝ ਮਾਪਦੰਡ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਤੁਰੰਤ ਕਾਰਵਾਈ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕਰਨਾ ਜਾਂ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਦੇਖਭਾਲ ਕਰਨਾ।
ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਅਤੇ ਮੂਲ ਕਾਰਨ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਜਦੋਂ ਕੋਈ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਵਾਪਰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ SPC ਸਿਸਟਮ ਘਟਨਾ ਬਾਰੇ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਜਾਣਕਾਰੀ ਰਿਕਾਰਡ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਤੁਹਾਨੂੰ ਇਸ ਜਾਣਕਾਰੀ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਦੇ ਮੂਲ ਕਾਰਨ ਦਾ ਨਿਪਟਾਰਾ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। FDC ਸਿਸਟਮ, EES ਸਿਸਟਮ, ਆਦਿ ਤੋਂ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ ਅਕਸਰ ਸੰਭਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿ ਕੀ ਸਮੱਸਿਆ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਅਸਫਲਤਾ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਭਟਕਣਾ, ਜਾਂ ਬਾਹਰੀ ਵਾਤਾਵਰਣਕ ਕਾਰਕਾਂ ਕਾਰਨ ਹੈ।
ਨਿਰੰਤਰ ਸੁਧਾਰ: SPC ਸਿਸਟਮ ਦੁਆਰਾ ਰਿਕਾਰਡ ਕੀਤੇ ਇਤਿਹਾਸਕ ਡੇਟਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਕਮਜ਼ੋਰ ਬਿੰਦੂਆਂ ਦੀ ਪਛਾਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਯੋਜਨਾਵਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵ ਦਿਓ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਚੱਕਰਾਂ 'ਤੇ ESC ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਤਰੀਕਿਆਂ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰੋ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਨਿਰੰਤਰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਓ।
6. ਪ੍ਰੈਕਟੀਕਲ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਕੇਸ
ਇੱਕ ਵਿਹਾਰਕ ਉਦਾਹਰਣ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਮੰਨ ਲਓ ਕਿ ਤੁਸੀਂ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ E-MAX ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹੋ, ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਕੈਥੋਡ ਸਮੇਂ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਖਰਾਬ ਹੋ ਰਿਹਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ D0 (BARC ਨੁਕਸ) ਮੁੱਲਾਂ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਹੋ ਰਿਹਾ ਹੈ। SPC ਸਿਸਟਮ ਰਾਹੀਂ RF ਪਾਵਰ ਅਤੇ ਐਚ ਦਰ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਕੇ, ਤੁਸੀਂ ਇੱਕ ਰੁਝਾਨ ਦੇਖਦੇ ਹੋ ਜਿੱਥੇ ਇਹ ਮਾਪਦੰਡ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਆਪਣੇ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲਾਂ ਤੋਂ ਭਟਕ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। SPC ਅਲਾਰਮ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਤੁਸੀਂ FDC ਸਿਸਟਮ ਤੋਂ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਜੋੜਦੇ ਹੋ ਅਤੇ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਹੋ ਕਿ ਸਮੱਸਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਅਸਥਿਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਾਰਨ ਹੈ। ਫਿਰ ਤੁਸੀਂ ਨਵੇਂ ਸਫਾਈ ਤਰੀਕਿਆਂ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀਆਂ ਰਣਨੀਤੀਆਂ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਦੇ ਹੋ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ D0 ਮੁੱਲ ਨੂੰ 4.3 ਤੋਂ 2.4 ਤੱਕ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
7. XINKEHUI ਵਿੱਚ ਤੁਸੀਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ।
XINKEHUI ਵਿਖੇ, ਤੁਸੀਂ ਸੰਪੂਰਨ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਭਾਵੇਂ ਇਹ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਹੋਵੇ ਜਾਂ SiC ਵੇਫਰ। ਅਸੀਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਦਯੋਗਾਂ ਲਈ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹਾਂ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰਦੇ ਹੋਏ।
(ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ)
ਸਾਡੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਉੱਤਮ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ ਤੁਹਾਡੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਲਈ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਬਿਜਲੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਵਧੇਰੇ ਮੰਗ ਵਾਲੀਆਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ, ਸਾਡੇ SiC ਵੇਫਰ ਬੇਮਿਸਾਲ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਪਾਵਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਪਾਵਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹਨ।
(SiC ਵੇਫਰ)
XINKEHUI ਦੇ ਨਾਲ, ਤੁਹਾਨੂੰ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਸਹਾਇਤਾ ਮਿਲਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਉੱਚਤਮ ਉਦਯੋਗਿਕ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। ਆਪਣੀ ਵੇਫਰ ਸੰਪੂਰਨਤਾ ਲਈ ਸਾਨੂੰ ਚੁਣੋ!
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਅਕਤੂਬਰ-16-2024