SiC ਵੇਫਰ ਦਾ ਸਾਰ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵੇਫਰਆਟੋਮੋਟਿਵ, ਨਵਿਆਉਣਯੋਗ ਊਰਜਾ, ਅਤੇ ਏਰੋਸਪੇਸ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ, ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਲਈ ਪਸੰਦ ਦਾ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਬਣ ਗਿਆ ਹੈ। ਸਾਡਾ ਪੋਰਟਫੋਲੀਓ ਮੁੱਖ ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਸਕੀਮਾਂ ਨੂੰ ਕਵਰ ਕਰਦਾ ਹੈ—ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਡੋਪਡ 4H (4H-N), ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸੈਮੀ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ (HPSI), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਡੋਪਡ 3C (3C-N), ਅਤੇ p-ਟਾਈਪ 4H/6H (4H/6H-P)-ਤਿੰਨ ਗੁਣਵੱਤਾ ਗ੍ਰੇਡਾਂ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ: PRIME (ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, ਡਿਵਾਈਸ-ਗ੍ਰੇਡ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ), ਡਮੀ (ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟਰਾਇਲਾਂ ਲਈ ਲੈਪਡ ਜਾਂ ਅਨਪੌਲਿਸ਼ਡ), ਅਤੇ ਰਿਸਰਚ (R&D ਲਈ ਕਸਟਮ ਐਪੀ ਲੇਅਰ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ)। ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ 2″, 4″, 6″, 8″, ਅਤੇ 12″ ਵਿੱਚ ਫੈਲਦੇ ਹਨ ਜੋ ਪੁਰਾਣੇ ਟੂਲਸ ਅਤੇ ਐਡਵਾਂਸਡ ਫੈਬ ਦੋਵਾਂ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹਨ। ਅਸੀਂ ਘਰ ਵਿੱਚ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਲਈ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਬੂਲ ਅਤੇ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਓਰੀਐਂਟਿਡ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵੀ ਸਪਲਾਈ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।
ਸਾਡੇ 4H-N ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ 1×10¹⁶ ਤੋਂ 1×10¹⁹ cm⁻³ ਤੱਕ ਕੈਰੀਅਰ ਘਣਤਾ ਅਤੇ 0.01–10 Ω·cm ਦੀ ਰੋਧਕਤਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ 2 MV/cm ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਬ੍ਰੇਕਡਾਊਨ ਫੀਲਡ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ - ਜੋ ਕਿ ਸਕੌਟਕੀ ਡਾਇਓਡਸ, MOSFETs, ਅਤੇ JFETs ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹਨ। HPSI ਸਬਸਟਰੇਟ 0.1 cm⁻² ਤੋਂ ਘੱਟ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ ਦੇ ਨਾਲ 1×10¹² Ω·cm ਰੋਧਕਤਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹਨ, ਜੋ RF ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਲੀਕੇਜ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਕਿਊਬਿਕ 3C-N, 2″ ਅਤੇ 4″ ਫਾਰਮੈਟਾਂ ਵਿੱਚ ਉਪਲਬਧ, ਸਿਲੀਕਾਨ 'ਤੇ ਹੇਟਰੋਏਪੀਟੈਕਸੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਾਵਲ ਫੋਟੋਨਿਕ ਅਤੇ MEMS ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। P-ਟਾਈਪ 4H/6H-P ਵੇਫਰ, 1×10¹⁶–5×10¹⁸ cm⁻³ ਤੱਕ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਨਾਲ ਡੋਪ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਪੂਰਕ ਡਿਵਾਈਸ ਆਰਕੀਟੈਕਚਰ ਦੀ ਸਹੂਲਤ ਦਿੰਦੇ ਹਨ।
SiC ਵੇਫਰ, PRIME ਵੇਫਰ <0.2 nm RMS ਸਤਹ ਖੁਰਦਰੀ, ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਭਿੰਨਤਾ 3 µm ਤੋਂ ਘੱਟ, ਅਤੇ ਬੋ <10 µm ਤੱਕ ਰਸਾਇਣਕ-ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦੇ ਹਨ। ਡਮੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਸੈਂਬਲੀ ਅਤੇ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਟੈਸਟਾਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਦੋਂ ਕਿ RESEARCH ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ 2-30 µm ਦੀ ਐਪੀ-ਲੇਅਰ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਬੇਸਪੋਕ ਡੋਪਿੰਗ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਾਰੇ ਉਤਪਾਦ ਐਕਸ-ਰੇ ਡਿਫ੍ਰੈਕਸ਼ਨ (ਰੌਕਿੰਗ ਕਰਵ <30 ਆਰਕਸੇਕ) ਅਤੇ ਰਮਨ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਸਕੋਪੀ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਹਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਟੈਸਟਾਂ ਦੇ ਨਾਲ - ਹਾਲ ਮਾਪ, C-V ਪ੍ਰੋਫਾਈਲਿੰਗ, ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਸਕੈਨਿੰਗ - JEDEC ਅਤੇ SEMI ਪਾਲਣਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
150 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਵਿਆਸ ਤੱਕ ਦੇ ਬੋਲ PVT ਅਤੇ CVD ਰਾਹੀਂ ਉਗਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਦੀ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਘਣਤਾ 1×10³ cm⁻² ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਦੀ ਗਿਣਤੀ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ c-ਧੁਰੇ ਦੇ 0.1° ਦੇ ਅੰਦਰ ਕੱਟਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਪ੍ਰਜਨਨਯੋਗ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਉੱਚ ਕੱਟਣ ਵਾਲੀ ਉਪਜ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੱਤੀ ਜਾ ਸਕੇ।
ਕਈ ਪੌਲੀਟਾਈਪਸ, ਡੋਪਿੰਗ ਵੇਰੀਐਂਟਸ, ਕੁਆਲਿਟੀ ਗ੍ਰੇਡ, SiC ਵੇਫਰ ਸਾਈਜ਼, ਅਤੇ ਇਨ-ਹਾਊਸ ਬੂਲ ਅਤੇ ਸੀਡ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਜੋੜ ਕੇ, ਸਾਡਾ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਪਲਾਈ ਚੇਨਾਂ ਨੂੰ ਸੁਚਾਰੂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਵਾਹਨਾਂ, ਸਮਾਰਟ ਗਰਿੱਡਾਂ, ਅਤੇ ਕਠੋਰ-ਵਾਤਾਵਰਣ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਡਿਵਾਈਸ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ।
SiC ਵੇਫਰ ਦਾ ਸਾਰ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵੇਫਰਆਟੋਮੋਟਿਵ, ਨਵਿਆਉਣਯੋਗ ਊਰਜਾ, ਅਤੇ ਏਰੋਸਪੇਸ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ, ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਲਈ ਪਸੰਦ ਦਾ SiC ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਬਣ ਗਿਆ ਹੈ। ਸਾਡਾ ਪੋਰਟਫੋਲੀਓ ਮੁੱਖ ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਸਕੀਮਾਂ ਨੂੰ ਕਵਰ ਕਰਦਾ ਹੈ—ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਡੋਪਡ 4H (4H-N), ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸੈਮੀ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ (HPSI), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਡੋਪਡ 3C (3C-N), ਅਤੇ p-ਟਾਈਪ 4H/6H (4H/6H-P)-ਤਿੰਨ ਗੁਣਵੱਤਾ ਗ੍ਰੇਡਾਂ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ: SiC ਵੇਫਰPRIME (ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੇ, ਡਿਵਾਈਸ-ਗ੍ਰੇਡ ਸਬਸਟਰੇਟ), ਡਮੀ (ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟਰਾਇਲਾਂ ਲਈ ਲੈਪਡ ਜਾਂ ਅਨਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੇ), ਅਤੇ ਰਿਸਰਚ (R&D ਲਈ ਕਸਟਮ ਐਪੀ ਲੇਅਰ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ)। SiC ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ 2″, 4″, 6″, 8″, ਅਤੇ 12″ ਤੱਕ ਫੈਲਦੇ ਹਨ ਜੋ ਪੁਰਾਣੇ ਟੂਲਸ ਅਤੇ ਐਡਵਾਂਸਡ ਫੈਬ ਦੋਵਾਂ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਅਸੀਂ ਘਰ ਵਿੱਚ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਲਈ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਬੂਲ ਅਤੇ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਓਰੀਐਂਟਿਡ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵੀ ਸਪਲਾਈ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।
ਸਾਡੇ 4H-N SiC ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ 1×10¹⁶ ਤੋਂ 1×10¹⁹ cm⁻³ ਤੱਕ ਕੈਰੀਅਰ ਘਣਤਾ ਅਤੇ 0.01–10 Ω·cm ਦੀ ਰੋਧਕਤਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ 2 MV/cm ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਬ੍ਰੇਕਡਾਊਨ ਫੀਲਡ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ - ਜੋ ਕਿ ਸਕੌਟਕੀ ਡਾਇਓਡਸ, MOSFETs, ਅਤੇ JFETs ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹਨ। HPSI ਸਬਸਟਰੇਟ 0.1 cm⁻² ਤੋਂ ਘੱਟ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ ਦੇ ਨਾਲ 1×10¹² Ω·cm ਰੋਧਕਤਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹਨ, ਜੋ RF ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਲੀਕੇਜ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਕਿਊਬਿਕ 3C-N, 2″ ਅਤੇ 4″ ਫਾਰਮੈਟਾਂ ਵਿੱਚ ਉਪਲਬਧ, ਸਿਲੀਕਾਨ 'ਤੇ ਹੇਟਰੋਏਪੀਟੈਕਸੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਾਵਲ ਫੋਟੋਨਿਕ ਅਤੇ MEMS ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। SiC ਵੇਫਰ P-ਟਾਈਪ 4H/6H-P ਵੇਫਰ, 1×10¹⁶–5×10¹⁸ cm⁻³ ਤੱਕ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਨਾਲ ਡੋਪ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਪੂਰਕ ਡਿਵਾਈਸ ਆਰਕੀਟੈਕਚਰ ਦੀ ਸਹੂਲਤ ਦਿੰਦੇ ਹਨ।
SiC ਵੇਫਰ PRIME ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ <0.2 nm RMS ਸਤਹ ਖੁਰਦਰੀ, 3 µm ਤੋਂ ਘੱਟ ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਭਿੰਨਤਾ, ਅਤੇ ਬੋ <10 µm ਤੱਕ ਰਸਾਇਣਕ-ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰਨਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਡਮੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਸੈਂਬਲੀ ਅਤੇ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਟੈਸਟਾਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਦੋਂ ਕਿ RESEARCH ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ 2-30 µm ਦੀ ਐਪੀ-ਲੇਅਰ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਬੇਸਪੋਕ ਡੋਪਿੰਗ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਾਰੇ ਉਤਪਾਦ ਐਕਸ-ਰੇ ਡਿਫ੍ਰੈਕਸ਼ਨ (ਰੌਕਿੰਗ ਕਰਵ <30 ਆਰਕਸੇਕ) ਅਤੇ ਰਮਨ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਸਕੋਪੀ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਹਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਟੈਸਟਾਂ ਦੇ ਨਾਲ - ਹਾਲ ਮਾਪ, C-V ਪ੍ਰੋਫਾਈਲਿੰਗ, ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਸਕੈਨਿੰਗ - JEDEC ਅਤੇ SEMI ਪਾਲਣਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
150 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਵਿਆਸ ਤੱਕ ਦੇ ਬੋਲ PVT ਅਤੇ CVD ਰਾਹੀਂ ਉਗਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਦੀ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਘਣਤਾ 1×10³ cm⁻² ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਦੀ ਗਿਣਤੀ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ c-ਧੁਰੇ ਦੇ 0.1° ਦੇ ਅੰਦਰ ਕੱਟਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਪ੍ਰਜਨਨਯੋਗ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਉੱਚ ਕੱਟਣ ਵਾਲੀ ਉਪਜ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੱਤੀ ਜਾ ਸਕੇ।
ਕਈ ਪੌਲੀਟਾਈਪਸ, ਡੋਪਿੰਗ ਵੇਰੀਐਂਟਸ, ਕੁਆਲਿਟੀ ਗ੍ਰੇਡ, SiC ਵੇਫਰ ਸਾਈਜ਼, ਅਤੇ ਇਨ-ਹਾਊਸ ਬੂਲ ਅਤੇ ਸੀਡ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਜੋੜ ਕੇ, ਸਾਡਾ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਪਲਾਈ ਚੇਨਾਂ ਨੂੰ ਸੁਚਾਰੂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਵਾਹਨਾਂ, ਸਮਾਰਟ ਗਰਿੱਡਾਂ, ਅਤੇ ਕਠੋਰ-ਵਾਤਾਵਰਣ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਡਿਵਾਈਸ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ।
SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਤਸਵੀਰ
6 ਇੰਚ 4H-N ਕਿਸਮ ਦੀ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ
| 6 ਇੰਚ SiC ਵੇਫਰ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ | ||||
| ਪੈਰਾਮੀਟਰ | ਉਪ-ਪੈਰਾਮੀਟਰ | Z ਗ੍ਰੇਡ | ਪੀ ਗ੍ਰੇਡ | ਡੀ ਗ੍ਰੇਡ |
| ਵਿਆਸ | 149.5–150.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 149.5–150.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 149.5–150.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
| ਮੋਟਾਈ | 4H‑N | 350 µm ± 15 µm | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm |
| ਮੋਟਾਈ | 4H‑SI | 500 µm ± 15 µm | 500 µm ± 25 µm | 500 µm ± 25 µm |
| ਵੇਫਰ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਔਫ ਐਕਸਿਸ: 4.0° ਵੱਲ <11-20> ±0.5° (4H-N); ਔਨ ਐਕਸਿਸ: <0001> ±0.5° (4H-SI) | ਔਫ ਐਕਸਿਸ: 4.0° ਵੱਲ <11-20> ±0.5° (4H-N); ਔਨ ਐਕਸਿਸ: <0001> ±0.5° (4H-SI) | ਔਫ ਐਕਸਿਸ: 4.0° ਵੱਲ <11-20> ±0.5° (4H-N); ਔਨ ਐਕਸਿਸ: <0001> ±0.5° (4H-SI) | |
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | 4H‑N | ≤ 0.2 ਸੈ.ਮੀ. | ≤ 2 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² | ≤ 15 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² |
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | 4H‑SI | ≤ 1 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² | ≤ 5 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² | ≤ 15 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² |
| ਰੋਧਕਤਾ | 4H‑N | 0.015–0.024 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | 0.015–0.028 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | 0.015–0.028 Ω·ਸੈ.ਮੀ. |
| ਰੋਧਕਤਾ | 4H‑SI | ≥ 1×10¹⁰ Ω·ਸੈ.ਮੀ. | ≥ 1×10⁵ Ω·ਸੈ.ਮੀ. | |
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | [10-10] ± 5.0° | [10-10] ± 5.0° | [10-10] ± 5.0° | |
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 4H‑N | 47.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ± 2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 4H‑SI | ਨੌਚ | ||
| ਕਿਨਾਰਾ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣਾ | 3 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |||
| ਵਾਰਪ/ਐਲਟੀਵੀ/ਟੀਟੀਵੀ/ਕਮਾਨ | ≤2.5 µm / ≤6 µm / ≤25 µm / ≤35 µm | ≤5 µm / ≤15 µm / ≤40 µm / ≤60 µm | ||
| ਖੁਰਦਰਾਪਨ | ਪੋਲਿਸ਼ | ਰਾ ≤ 1 ਐਨਐਮ | ||
| ਖੁਰਦਰਾਪਨ | ਸੀ.ਐਮ.ਪੀ. | ਰਾ ≤ 0.2 ਐਨਐਮ | ਰਾ ≤ 0.5 ਐਨਐਮ | |
| ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਤਰੇੜਾਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤ 20 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਸਿੰਗਲ ≤ 2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 0.1% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 1% | |
| ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 3% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 3% | |
| ਕਾਰਬਨ ਸਮਾਵੇਸ਼ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤ 3% | ||
| ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਖੁਰਚਣਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤ 1 × ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ | ||
| ਐਜ ਚਿਪਸ | ≥ 0.2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਚੌੜਾਈ ਅਤੇ ਡੂੰਘਾਈ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਨਹੀਂ ਹੈ | 7 ਚਿਪਸ ਤੱਕ, ≤ 1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਹਰੇਕ | ||
| ਟੀਐਸਡੀ (ਥ੍ਰੈਡਿੰਗ ਪੇਚ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ) | ≤ 500 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² | ਲਾਗੂ ਨਹੀਂ | ||
| ਬੀਪੀਡੀ (ਬੇਸ ਪਲੇਨ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ) | ≤ 1000 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² | ਲਾਗੂ ਨਹੀਂ | ||
| ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਦੂਸ਼ਿਤਤਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | |||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | |
4 ਇੰਚ 4H-N ਕਿਸਮ ਦੀ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ
| 4 ਇੰਚ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ | |||
| ਪੈਰਾਮੀਟਰ | ਜ਼ੀਰੋ MPD ਉਤਪਾਦਨ | ਮਿਆਰੀ ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ (ਪੀ ਗ੍ਰੇਡ) | ਡਮੀ ਗ੍ਰੇਡ (ਡੀ ਗ੍ਰੇਡ) |
| ਵਿਆਸ | 99.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ–100.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਮੋਟਾਈ (4H-N) | 350 µm±15 µm | 350 µm±25 µm | |
| ਮੋਟਾਈ (4H-Si) | 500 µm±15 µm | 500 µm±25 µm | |
| ਵੇਫਰ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਔਫ ਐਕਸਿਸ: 4.0° ਵੱਲ <1120> 4H-N ਲਈ ±0.5°; ਔਨ ਐਕਸਿਸ: <0001> 4H-Si ਲਈ ±0.5° | ||
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ (4H-N) | ≤0.2 ਸੈ.ਮੀ.⁻² | ≤2 ਸੈ.ਮੀ. | ≤15 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² |
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ (4H-Si) | ≤1 ਸੈ.ਮੀ. | ≤5 ਸੈ.ਮੀ. | ≤15 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² |
| ਰੋਧਕਤਾ (4H-N) | 0.015–0.024 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | 0.015–0.028 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | |
| ਰੋਧਕਤਾ (4H-Si) | ≥1E10 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | ≥1E5 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | |
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | [10-10] ±5.0° | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 32.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ±2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 18.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ±2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਸਿਲੀਕਾਨ ਫੇਸ ਅੱਪ: ਪ੍ਰਾਈਮ ਫਲੈਟ ±5.0° ਤੋਂ 90° CW | ||
| ਕਿਨਾਰਾ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣਾ | 3 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਐਲਟੀਵੀ/ਟੀਟੀਵੀ/ਬੋ ਵਾਰਪ | ≤2.5 µm/≤5 µm/≤15 µm/≤30 µm | ≤10 µm/≤15 µm/≤25 µm/≤40 µm | |
| ਖੁਰਦਰਾਪਨ | ਪੋਲਿਸ਼ ਰਾ ≤1 ਐਨਐਮ; ਸੀਐਮਪੀ ਰਾ ≤0.2 ਐਨਐਮ | ਰਾ ≤0.5 ਐਨਐਮ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਕਾਰਨ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਦਰਾਰਾਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤10 ਮਿਲੀਮੀਟਰ; ਸਿੰਗਲ ਲੰਬਾਈ ≤2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.1% |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦੁਆਰਾ ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤3% | |
| ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਕਾਰਬਨ ਸਮਾਵੇਸ਼ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤3% | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਕਾਰਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਖੁਰਚਣਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤1 ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਐਜ ਚਿਪਸ | ≥0.2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਚੌੜਾਈ ਅਤੇ ਡੂੰਘਾਈ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਨਹੀਂ ਹੈ | 5 ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਹੈ, ≤1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਹਰੇਕ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤਹ ਦੀ ਦੂਸ਼ਿਤਤਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਥ੍ਰੈੱਡਿੰਗ ਪੇਚ ਦਾ ਖਿਸਕਾਅ | ≤500 ਸੈ.ਮੀ. | ਲਾਗੂ ਨਹੀਂ | |
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ |
4 ਇੰਚ HPSI ਕਿਸਮ ਦੀ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ
| 4 ਇੰਚ HPSI ਕਿਸਮ ਦੀ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ | |||
| ਪੈਰਾਮੀਟਰ | ਜ਼ੀਰੋ MPD ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ (Z ਗ੍ਰੇਡ) | ਮਿਆਰੀ ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ (ਪੀ ਗ੍ਰੇਡ) | ਡਮੀ ਗ੍ਰੇਡ (ਡੀ ਗ੍ਰੇਡ) |
| ਵਿਆਸ | 99.5–100.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਮੋਟਾਈ (4H-Si) | 500 µm ±20 µm | 500 µm ±25 µm | |
| ਵੇਫਰ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਔਫ ਐਕਸਿਸ: 4.0° ਵੱਲ <11-20> 4H-N ਲਈ ±0.5°; ਔਨ ਐਕਸਿਸ: <0001> 4H-Si ਲਈ ±0.5° | ||
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ (4H-Si) | ≤1 ਸੈ.ਮੀ. | ≤5 ਸੈ.ਮੀ. | ≤15 ਸੈਂਟੀਮੀਟਰ⁻² |
| ਰੋਧਕਤਾ (4H-Si) | ≥1E9 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | ≥1E5 Ω·ਸੈ.ਮੀ. | |
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | (10-10) ±5.0° | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 32.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ±2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 18.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ±2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਸਿਲੀਕਾਨ ਫੇਸ ਅੱਪ: ਪ੍ਰਾਈਮ ਫਲੈਟ ±5.0° ਤੋਂ 90° CW | ||
| ਕਿਨਾਰਾ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣਾ | 3 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||
| ਐਲਟੀਵੀ/ਟੀਟੀਵੀ/ਬੋ ਵਾਰਪ | ≤3 µm/≤5 µm/≤15 µm/≤30 µm | ≤10 µm/≤15 µm/≤25 µm/≤40 µm | |
| ਖੁਰਦਰਾਪਨ (C ਚਿਹਰਾ) | ਪੋਲਿਸ਼ | ਰਾ ≤1 ਐਨਐਮ | |
| ਖੁਰਦਰਾਪਨ (Si ਫੇਸ) | ਸੀ.ਐਮ.ਪੀ. | ਰਾ ≤0.2 ਐਨਐਮ | ਰਾ ≤0.5 ਐਨਐਮ |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਕਾਰਨ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਦਰਾਰਾਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤10 ਮਿਲੀਮੀਟਰ; ਸਿੰਗਲ ਲੰਬਾਈ ≤2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.1% |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦੁਆਰਾ ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤3% | |
| ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਕਾਰਬਨ ਸਮਾਵੇਸ਼ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤3% | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਕਾਰਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਖੁਰਚਣਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤1 ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਐਜ ਚਿਪਸ | ≥0.2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਚੌੜਾਈ ਅਤੇ ਡੂੰਘਾਈ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਨਹੀਂ ਹੈ | 5 ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਹੈ, ≤1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਹਰੇਕ | |
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤਹ ਦੀ ਦੂਸ਼ਿਤਤਾ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | |
| ਥ੍ਰੈੱਡਿੰਗ ਪੇਚ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ | ≤500 ਸੈ.ਮੀ. | ਲਾਗੂ ਨਹੀਂ | |
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ||
SiC ਵੇਫਰ ਦਾ ਉਪਯੋਗ
-
ਈਵੀ ਇਨਵਰਟਰਾਂ ਲਈ SiC ਵੇਫਰ ਪਾਵਰ ਮੋਡੀਊਲ
ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ SiC ਵੇਫਰ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ 'ਤੇ ਬਣੇ SiC ਵੇਫਰ-ਅਧਾਰਿਤ MOSFET ਅਤੇ ਡਾਇਓਡ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਸਵਿਚਿੰਗ ਨੁਕਸਾਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। SiC ਵੇਫਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾ ਕੇ, ਇਹ ਪਾਵਰ ਮੋਡੀਊਲ ਉੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਵਧੇਰੇ ਕੁਸ਼ਲ ਟ੍ਰੈਕਸ਼ਨ ਇਨਵਰਟਰਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। SiC ਵੇਫਰ ਡਾਈਸ ਨੂੰ ਪਾਵਰ ਪੜਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਜੋੜਨ ਨਾਲ ਕੂਲਿੰਗ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਅਤੇ ਫੁੱਟਪ੍ਰਿੰਟ ਘਟਦੇ ਹਨ, ਜੋ SiC ਵੇਫਰ ਨਵੀਨਤਾ ਦੀ ਪੂਰੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ। -
SiC ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ RF ਅਤੇ 5G ਡਿਵਾਈਸਾਂ
ਸੈਮੀ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ SiC ਵੇਫਰ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ 'ਤੇ ਬਣਾਏ ਗਏ RF ਐਂਪਲੀਫਾਇਰ ਅਤੇ ਸਵਿੱਚ ਵਧੀਆ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਬ੍ਰੇਕਡਾਊਨ ਵੋਲਟੇਜ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। SiC ਵੇਫਰ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ GHz ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ 'ਤੇ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਤਾਕਤ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਸਥਿਰ ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ - ਜਿਸ ਨਾਲ SiC ਵੇਫਰ ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦੇ 5G ਬੇਸ ਸਟੇਸ਼ਨਾਂ ਅਤੇ ਰਾਡਾਰ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਲਈ ਪਸੰਦ ਦਾ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਬਣ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। -
SiC ਵੇਫਰ ਤੋਂ ਆਪਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਅਤੇ LED ਸਬਸਟਰੇਟ
SiC ਵੇਫਰ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ 'ਤੇ ਉਗਾਏ ਗਏ ਨੀਲੇ ਅਤੇ UV LED ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਜਾਲੀ ਮੈਚਿੰਗ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਦੇ ਵਿਸਥਾਪਨ ਤੋਂ ਲਾਭ ਉਠਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੇ C-ਫੇਸ ਵਾਲੇ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਇਕਸਾਰ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤਾਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਕਠੋਰਤਾ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪਤਲਾ ਕਰਨ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਡਿਵਾਈਸ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ SiC ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ, ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਚੱਲਣ ਵਾਲੇ LED ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ ਵਾਲਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
SiC ਵੇਫਰ ਦੇ ਸਵਾਲ ਅਤੇ ਜਵਾਬ
1. ਸਵਾਲ: SiC ਵੇਫਰ ਕਿਵੇਂ ਬਣਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ?
ਏ:
SiC ਵੇਫਰ ਬਣਾਏ ਗਏਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਕਦਮ
-
SiC ਵੇਫਰਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀ ਤਿਆਰੀ
- ≥5N-ਗ੍ਰੇਡ SiC ਪਾਊਡਰ (ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ≤1 ppm) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ।
- ਬਚੇ ਹੋਏ ਕਾਰਬਨ ਜਾਂ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਛਾਣਨੀ ਅਤੇ ਪਹਿਲਾਂ ਤੋਂ ਬੇਕ ਕਰੋ।
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਤਿਆਰੀ
-
4H-SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਾ ਇੱਕ ਟੁਕੜਾ ਲਓ, 〈0001〉 ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ ਦੇ ਨਾਲ-ਨਾਲ ~10 × 10 mm² ਤੱਕ ਕੱਟੋ।
-
Ra ≤0.1 nm ਤੱਕ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਾਲਿਸ਼ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਚਿੰਨ੍ਹਿਤ ਕਰੋ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਪੀਵੀਟੀ ਗ੍ਰੋਥ (ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਆਵਾਜਾਈ)
-
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਲੋਡ ਕਰੋ: ਹੇਠਾਂ SiC ਪਾਊਡਰ ਨਾਲ, ਉੱਪਰ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨਾਲ।
-
10⁻³–10⁻⁵ ਟੌਰ ਤੱਕ ਖਾਲੀ ਕਰੋ ਜਾਂ 1 atm 'ਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਹੀਲੀਅਮ ਨਾਲ ਬੈਕਫਿਲ ਕਰੋ।
-
ਗਰਮੀ ਸਰੋਤ ਜ਼ੋਨ ਨੂੰ 2100–2300 ℃ ਤੱਕ ਰੱਖੋ, ਬੀਜ ਜ਼ੋਨ ਨੂੰ 100–150 ℃ ਠੰਡਾ ਰੱਖੋ।
-
ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਥਰੂਪੁੱਟ ਨੂੰ ਸੰਤੁਲਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਵਿਕਾਸ ਦਰ ਨੂੰ 1-5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ/ਘੰਟਾ 'ਤੇ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰੋ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਇੰਗੋਟ ਐਨੀਲਿੰਗ
-
ਵਧੇ ਹੋਏ SiC ਇੰਗੋਟ ਨੂੰ 1600–1800 ℃ 'ਤੇ 4-8 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਐਨੀਲ ਕਰੋ।
-
ਉਦੇਸ਼: ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਤੋਂ ਰਾਹਤ ਪਾਉਣਾ ਅਤੇ ਉਜਾੜੇ ਦੀ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਵੇਫਰ ਸਲਾਈਸਿੰਗ
-
ਪਿੰਜਰੇ ਨੂੰ 0.5-1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਮੋਟੇ ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ ਕੱਟਣ ਲਈ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਵਾਲੇ ਆਰੇ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ।
-
ਸੂਖਮ-ਦਰਦਾਂ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਲੇਟਰਲ ਫੋਰਸ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰੋ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਵੇਫਰਪੀਸਣਾ ਅਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਨਾ
-
ਮੋਟਾ ਪੀਸਣਾਆਰੇ ਨਾਲ ਹੋਏ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕਰਨ ਲਈ (ਖਰਾਬਤਾ ~10–30 µm)।
-
ਬਾਰੀਕ ਪੀਸਣਾਸਮਤਲਤਾ ≤5 µm ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ।
-
ਕੈਮੀਕਲ-ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ (CMP)ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਵਰਗੀ ਸਮਾਪਤੀ (Ra ≤0.2 nm) ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਲਈ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਵੇਫਰਸਫਾਈ ਅਤੇ ਨਿਰੀਖਣ
-
ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈਪਿਰਾਨਹਾ ਘੋਲ ਵਿੱਚ (H₂SO₄:H₂O₂), DI ਪਾਣੀ, ਫਿਰ IPA।
-
ਐਕਸਆਰਡੀ/ਰਮਨ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਸਕੋਪੀਪੌਲੀਟਾਈਪ (4H, 6H, 3C) ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਲਈ।
-
ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੈਟਰੀਸਮਤਲਤਾ (<5 µm) ਅਤੇ ਤਾਣਾ (<20 µm) ਮਾਪਣ ਲਈ।
-
ਚਾਰ-ਪੁਆਇੰਟ ਪ੍ਰੋਬਰੋਧਕਤਾ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਨ ਲਈ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ HPSI ≥10⁹ Ω·cm)।
-
ਨੁਕਸ ਨਿਰੀਖਣਪੋਲਰਾਈਜ਼ਡ ਲਾਈਟ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਅਤੇ ਸਕ੍ਰੈਚ ਟੈਸਟਰ ਦੇ ਹੇਠਾਂ।
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਵੇਫਰਵਰਗੀਕਰਨ ਅਤੇ ਛਾਂਟੀ
-
ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਕਿਸਮ ਅਨੁਸਾਰ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਛਾਂਟੋ:
-
4H-SiC N-ਕਿਸਮ (4H-N): ਕੈਰੀਅਰ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ 10¹⁶–10¹⁸ cm⁻³
-
4H-SiC ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ (4H-HPSI): ਰੋਧਕਤਾ ≥10⁹ Ω·cm
-
6H-SiC N-ਟਾਈਪ (6H-N)
-
ਹੋਰ: 3C-SiC, P-ਟਾਈਪ, ਆਦਿ।
-
-
-
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.ਵੇਫਰਪੈਕੇਜਿੰਗ ਅਤੇ ਮਾਲ
-
ਸਾਫ਼, ਧੂੜ-ਮੁਕਤ ਵੇਫਰ ਡੱਬਿਆਂ ਵਿੱਚ ਰੱਖੋ।
-
ਹਰੇਕ ਡੱਬੇ ਨੂੰ ਵਿਆਸ, ਮੋਟਾਈ, ਪੌਲੀਟਾਈਪ, ਰੋਧਕਤਾ ਗ੍ਰੇਡ, ਅਤੇ ਬੈਚ ਨੰਬਰ ਨਾਲ ਲੇਬਲ ਕਰੋ।
-
2. ਸਵਾਲ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਫਾਇਦੇ ਕੀ ਹਨ?
A: ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, SiC ਵੇਫਰ ਇਹ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ:
-
ਉੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਓਪਰੇਸ਼ਨ(>1,200 V) ਘੱਟ ਔਨ-ਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ।
-
ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ(>300 °C) ਅਤੇ ਬਿਹਤਰ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ।
-
ਤੇਜ਼ ਸਵਿਚਿੰਗ ਸਪੀਡਘੱਟ ਸਵਿਚਿੰਗ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਨਾਲ, ਪਾਵਰ ਕਨਵਰਟਰਾਂ ਵਿੱਚ ਸਿਸਟਮ-ਪੱਧਰ ਦੀ ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਆਕਾਰ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
4. ਸਵਾਲ: ਕਿਹੜੇ ਆਮ ਨੁਕਸ SiC ਵੇਫਰ ਦੀ ਉਪਜ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ?
A: SiC ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਨੁਕਸ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ, ਬੇਸਲ ਪਲੇਨ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ (BPDs), ਅਤੇ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਖੁਰਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਾਤਕ ਡਿਵਾਈਸ ਅਸਫਲਤਾ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੇ ਹਨ; BPD ਸਮੇਂ ਦੇ ਨਾਲ ਔਨ-ਰੋਧ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ; ਅਤੇ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਖੁਰਚਣ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਟੁੱਟਣ ਜਾਂ ਮਾੜੀ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਿਕਾਸ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ SiC ਵੇਫਰ ਉਪਜ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰਨ ਲਈ ਸਖ਼ਤ ਨਿਰੀਖਣ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਘਟਾਉਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜੂਨ-30-2025