ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਅਤੇ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਜਾਂ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸ਼ੀਟ ਦੀ ਸਤਹ ਗੁਣਵੱਤਾ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਵੀ ਬਹੁਤ ਸਖਤ ਹਨ। ਤਾਂ, ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਕੀ ਹਨ? ਲੈਣਾਨੀਲਮ ਵੇਫਰਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿਹੜੇ ਸੂਚਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ?
ਵੇਫਰ ਮੁਲਾਂਕਣ ਸੂਚਕ ਕੀ ਹਨ?
ਤਿੰਨ ਸੂਚਕ
ਨੀਲਮ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ, ਇਸਦੇ ਮੁਲਾਂਕਣ ਸੂਚਕ ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਭਟਕਣਾ (TTV), ਮੋੜ (ਧਨੁਸ਼) ਅਤੇ ਵਾਰਪ (ਵਾਰਪ) ਹਨ। ਇਹ ਤਿੰਨੇ ਮਾਪਦੰਡ ਇਕੱਠੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੀ ਲਹਿਰ ਦੀ ਡਿਗਰੀ ਨੂੰ ਮਾਪ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕੋਰੇਗੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਸਮਤਲਤਾ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਟੀਟੀਵੀ, ਬੋ, ਵਾਰਪ ਕੀ ਹੈ?
ਟੀਟੀਵੀ (ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਭਿੰਨਤਾ)
ਟੀਟੀਵੀ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਦੀ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਮੋਟਾਈ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ ਹੈ। ਇਹ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕਾਂਕ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਮੋਟਾਈ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਪੂਰੀ ਸਤ੍ਹਾ ਉੱਤੇ ਬਹੁਤ ਇਕਸਾਰ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ। ਮਾਪ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਪੰਜ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਅੰਤਰ ਦੀ ਗਣਨਾ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਅੰਤ ਵਿੱਚ, ਇਹ ਮੁੱਲ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਨਿਰਣਾ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਆਧਾਰ ਹੈ।
ਧਨੁਸ਼
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਧਨੁਸ਼ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਦੇ ਮੋੜ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਇੱਕ ਅਣਕਲੈੰਪਡ ਵੇਫਰ ਦੇ ਮੱਧ ਬਿੰਦੂ ਅਤੇ ਸੰਦਰਭ ਸਮਤਲ ਵਿਚਕਾਰ ਦੂਰੀ ਨੂੰ ਮੁਕਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਸ਼ਬਦ ਸ਼ਾਇਦ ਕਿਸੇ ਵਸਤੂ ਦੇ ਝੁਕਣ 'ਤੇ ਉਸ ਦੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਵਰਣਨ ਤੋਂ ਆਇਆ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਧਨੁਸ਼ ਦਾ ਵਕਰ ਆਕਾਰ। ਧਨੁਸ਼ ਮੁੱਲ ਨੂੰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਕੇਂਦਰ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਵਿਚਕਾਰ ਭਟਕਣ ਨੂੰ ਮਾਪ ਕੇ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਮੁੱਲ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰ (µm) ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਵਾਰਪ
ਵਾਰਪ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਗਲੋਬਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਹੈ ਜੋ ਇੱਕ ਸੁਤੰਤਰ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਣਕਲੇਮ ਕੀਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਅਤੇ ਰੈਫਰੈਂਸ ਪਲੇਨ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਦੂਰੀ ਦੇ ਅੰਤਰ ਨੂੰ ਮਾਪਦੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਤੋਂ ਪਲੇਨ ਤੱਕ ਦੀ ਦੂਰੀ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਟੀਟੀਵੀ, ਬੋ, ਵਾਰਪ ਵਿੱਚ ਕੀ ਅੰਤਰ ਹੈ?
ਟੀਟੀਵੀ ਮੋਟਾਈ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਝੁਕਣ ਜਾਂ ਵਿਗਾੜ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਨਹੀਂ ਹੈ।
ਧਨੁਸ਼ ਸਮੁੱਚੇ ਮੋੜ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੇਂਦਰ ਬਿੰਦੂ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਮੋੜ ਨੂੰ ਧਿਆਨ ਵਿੱਚ ਰੱਖਦੇ ਹੋਏ।
ਵਾਰਪ ਵਧੇਰੇ ਵਿਆਪਕ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪੂਰੀ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਮੋੜਨਾ ਅਤੇ ਮਰੋੜਨਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।
ਹਾਲਾਂਕਿ ਇਹ ਤਿੰਨੇ ਮਾਪਦੰਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਆਕਾਰ ਅਤੇ ਜਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਗੁਣਾਂ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹਨ, ਇਹਨਾਂ ਨੂੰ ਮਾਪਿਆ ਅਤੇ ਵੱਖਰੇ ਢੰਗ ਨਾਲ ਦਰਸਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ 'ਤੇ ਇਹਨਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਵੱਖਰਾ ਹੈ।
ਤਿੰਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਜਿੰਨੇ ਛੋਟੇ ਹੋਣਗੇ, ਓਨਾ ਹੀ ਵਧੀਆ ਹੋਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਜਿੰਨਾ ਵੱਡਾ ਹੋਵੇਗਾ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ 'ਤੇ ਓਨਾ ਹੀ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਵੇਗਾ। ਇਸ ਲਈ, ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੈਕਟੀਸ਼ਨਰ ਹੋਣ ਦੇ ਨਾਤੇ, ਸਾਨੂੰ ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਮਹੱਤਤਾ ਨੂੰ ਸਮਝਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ, ਵੇਰਵਿਆਂ ਵੱਲ ਧਿਆਨ ਦੇਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
(ਸੈਂਸਰਿੰਗ)
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜੂਨ-24-2024