ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਅਤੇ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਜਾਂ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸ਼ੀਟ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਲਈ ਲੋੜਾਂ ਵੀ ਬਹੁਤ ਸਖਤ ਹਨ।ਇਸ ਲਈ, ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਕੀ ਹਨ?ਨੀਲਮ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਉਦਾਹਰਨ ਵਜੋਂ ਲੈਂਦੇ ਹੋਏ, ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕਿਹੜੇ ਸੂਚਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ?
ਵੇਫਰ ਮੁਲਾਂਕਣ ਸੂਚਕ ਕੀ ਹਨ?
ਤਿੰਨ ਸੂਚਕ
ਨੀਲਮ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ, ਇਸਦੇ ਮੁਲਾਂਕਣ ਸੂਚਕ ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਵਿਵਹਾਰ (ਟੀਟੀਵੀ), ਮੋੜ (ਬੋ) ਅਤੇ ਵਾਰਪ (ਵਾਰਪ) ਹਨ।ਇਹ ਤਿੰਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਮਿਲ ਕੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੀ ਲਹਿਰ ਦੀ ਡਿਗਰੀ ਨੂੰ ਮਾਪ ਸਕਦੇ ਹਨ।ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕੋਰੂਗੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਸਮਤਲਤਾ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
TTV, BOW, Warp ਕੀ ਹੈ?
TTV (ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਪਰਿਵਰਤਨ)
TTV ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਦੀ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਮੋਟਾਈ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ ਹੈ।ਇਹ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕਾਂਕ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਪੂਰੀ ਸਤ੍ਹਾ ਉੱਤੇ ਬਹੁਤ ਇਕਸਾਰ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।ਮਾਪ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਪੰਜ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਬਣਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਅੰਤਰ ਦੀ ਗਣਨਾ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਆਖਰਕਾਰ, ਇਹ ਮੁੱਲ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਨਿਰਣਾ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਆਧਾਰ ਹੈ।
ਕਮਾਨ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਧਨੁਸ਼ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਦੇ ਮੋੜ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਇੱਕ ਅਣਕਲੇਪਡ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਰੈਫਰੈਂਸ ਪਲੇਨ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਦੀ ਦੂਰੀ ਨੂੰ ਖਾਲੀ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਇਹ ਸ਼ਬਦ ਸੰਭਵ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਿਸੇ ਵਸਤੂ ਦੀ ਸ਼ਕਲ ਦੇ ਵਰਣਨ ਤੋਂ ਆਇਆ ਹੈ ਜਦੋਂ ਇਹ ਝੁਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਧਨੁਸ਼ ਦੀ ਵਕਰ ਸ਼ਕਲ।ਬੋ ਵੈਲਯੂ ਨੂੰ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਕੇਂਦਰ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਭਟਕਣ ਨੂੰ ਮਾਪ ਕੇ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇਹ ਮੁੱਲ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰਾਂ (µm) ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਵਾਰਪ
ਵਾਰਪ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਵਵਿਆਪੀ ਸੰਪੱਤੀ ਹੈ ਜੋ ਇੱਕ ਸੁਤੰਤਰ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਣਕਲੇਪਡ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਰੈਫਰੈਂਸ ਪਲੇਨ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਦੂਰੀ ਵਿਚਕਾਰ ਅੰਤਰ ਨੂੰ ਮਾਪਦੀ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਤੋਂ ਜਹਾਜ਼ ਤੱਕ ਦੀ ਦੂਰੀ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ।
TTV, Bow, Warp ਵਿੱਚ ਕੀ ਅੰਤਰ ਹੈ?
ਟੀਟੀਵੀ ਮੋਟਾਈ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਝੁਕਣ ਜਾਂ ਵਿਗਾੜ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਨਹੀਂ ਹੈ।
ਕਮਾਨ ਸਮੁੱਚੇ ਮੋੜ 'ਤੇ ਕੇਂਦਰਿਤ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੇਂਦਰ ਬਿੰਦੂ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਮੋੜ 'ਤੇ ਵਿਚਾਰ ਕਰਦੇ ਹੋਏ।
ਵਾਰਪ ਵਧੇਰੇ ਵਿਆਪਕ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪੂਰੀ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਨੂੰ ਮੋੜਨਾ ਅਤੇ ਮਰੋੜਨਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।
ਹਾਲਾਂਕਿ ਇਹ ਤਿੰਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸ਼ਕਲ ਅਤੇ ਜਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹਨ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੇ ਢੰਗ ਨਾਲ ਮਾਪਿਆ ਅਤੇ ਵਰਣਨ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ 'ਤੇ ਉਹਨਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਵੱਖਰਾ ਹੈ।
ਤਿੰਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਜਿੰਨੇ ਛੋਟੇ ਹੋਣਗੇ, ਉੱਨਾ ਹੀ ਵਧੀਆ, ਅਤੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਜਿੰਨਾ ਵੱਡਾ ਹੋਵੇਗਾ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ 'ਤੇ ਓਨਾ ਹੀ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੋਵੇਗਾ।ਇਸ ਲਈ, ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੈਕਟੀਸ਼ਨਰ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਸਾਨੂੰ ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਮਹੱਤਤਾ ਨੂੰ ਸਮਝਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਵੇਰਵਿਆਂ ਵੱਲ ਧਿਆਨ ਦੇਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
(ਸੈਂਸਰਿੰਗ)
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜੂਨ-24-2024