p-ਕਿਸਮ 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC ਸਬਸਟਰੇਟ 4ਇੰਚ 〈111〉± 0.5°ਜ਼ੀਰੋ MPD
4H/6H-P ਕਿਸਮ SiC ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ ਸਬਸਟਰੇਟਸ ਆਮ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਸਾਰਣੀ
4 ਇੰਚ ਵਿਆਸ ਸਿਲੀਕਾਨਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਬਸਟਰੇਟ ਨਿਰਧਾਰਨ
| ਗ੍ਰੇਡ | ਜ਼ੀਰੋ MPD ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ (Z ਗ੍ਰੇਡ) | ਮਿਆਰੀ ਉਤਪਾਦਨ ਗ੍ਰੇਡ (ਪੀ ਗ੍ਰੇਡ) | ਡਮੀ ਗ੍ਰੇਡ (D ਗ੍ਰੇਡ) | ||
| ਵਿਆਸ | 99.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ~100.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||||
| ਮੋਟਾਈ | 350 μm ± 25 μm | ||||
| ਵੇਫਰ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਧੁਰਾ ਬੰਦ: 2.0°-4.0° ਵੱਲ [1120] ± 0.5° 4H/6H- ਲਈP, On ਧੁਰਾ: 3C-N ਲਈ 〈111〉± 0.5° | ||||
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | 0 cm-2 | ||||
| ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | p-ਕਿਸਮ 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-ਕਿਸਮ 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
| 3ਸੀ-ਐਨ | - {110} ± 5.0° | ||||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 32.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ± 2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 18.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ± 2.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | ||||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਸਥਿਤੀ | ਸਿਲੀਕਾਨ ਫੇਸ ਅੱਪ: 90° CW। ਪ੍ਰਧਾਨ ਫਲੈਟ ਤੋਂ±5.0° | ||||
| ਕਿਨਾਰਾ ਬੇਦਖਲੀ | 3 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 6 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |||
| LTV/TTV/ਬੋ/ਵਾਰਪ | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| ਖੁਰਦਰੀ | ਪੋਲਿਸ਼ Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਚੀਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤ 10 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਸਿੰਗਲ ਲੰਬਾਈ≤2 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |||
| ਹਾਈ ਇੰਟੈਂਸਿਟੀ ਲਾਈਟ ਦੁਆਰਾ ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.1% | |||
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ≤3% | |||
| ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਕਾਰਬਨ ਸੰਮਿਲਨ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤0.05% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ ≤3% | |||
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤਹ ਖੁਰਚ ਜਾਂਦੀ ਹੈ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ≤1×ਵੇਫਰ ਵਿਆਸ | |||
| ਤੀਬਰਤਾ ਦੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੁਆਰਾ ਉੱਚੇ ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ | ਕਿਸੇ ਦੀ ਵੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਨਹੀਂ ≥0.2mm ਚੌੜਾਈ ਅਤੇ ਡੂੰਘਾਈ | 5 ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਹੈ, ≤1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਹਰੇਕ | |||
| ਉੱਚ ਤੀਬਰਤਾ ਦੁਆਰਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤਹ ਦੀ ਗੰਦਗੀ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰ | ||||
ਨੋਟ:
※ ਨੁਕਸ ਦੀਆਂ ਸੀਮਾਵਾਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਬੇਦਖਲੀ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਛੱਡ ਕੇ ਪੂਰੀ ਵੇਫਰ ਸਤਹ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। #ਖਰੀਚਿਆਂ ਨੂੰ ਸਿਰਫ ਸੀ ਦੇ ਚਿਹਰੇ 'ਤੇ ਹੀ ਚੈੱਕ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
ਪੀ-ਟਾਈਪ 4H/6H-P 3C-N ਟਾਈਪ 4-ਇੰਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ 〈111〉± 0.5° ਸਥਿਤੀ ਅਤੇ ਜ਼ੀਰੋ MPD ਗ੍ਰੇਡ ਦੇ ਨਾਲ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ ਅਤੇ ਉੱਚ ਬਰੇਕਡਾਊਨ ਵੋਲਟੇਜ ਇਸ ਨੂੰ ਪਾਵਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਚ-ਵੋਲਟੇਜ ਸਵਿੱਚਾਂ, ਇਨਵਰਟਰਾਂ, ਅਤੇ ਪਾਵਰ ਕਨਵਰਟਰਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਅਤੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਠੋਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਸਟੀਕ 〈111〉± 0.5° ਸਥਿਤੀ ਨਿਰਮਾਣ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਨੂੰ RF ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਰਾਡਾਰ ਸਿਸਟਮ ਅਤੇ ਵਾਇਰਲੈੱਸ ਸੰਚਾਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
N-type SiC ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ ਸਬਸਟਰੇਟਸ ਦੇ ਫਾਇਦਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
1. ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ: ਕੁਸ਼ਲ ਤਾਪ ਭੰਗ, ਇਸ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਨ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਪਾਵਰ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
2. ਉੱਚ ਬਰੇਕਡਾਊਨ ਵੋਲਟੇਜ: ਪਾਵਰ ਕਨਵਰਟਰਾਂ ਅਤੇ ਇਨਵਰਟਰਾਂ ਵਰਗੇ ਉੱਚ-ਵੋਲਟੇਜ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
3. ਜ਼ੀਰੋ MPD (ਮਾਈਕਰੋ ਪਾਈਪ ਨੁਕਸ) ਗ੍ਰੇਡ: ਨਾਜ਼ੁਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਉਪਕਰਨਾਂ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਨੁਕਸ ਦੀ ਗਾਰੰਟੀ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।
4. ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਕਠੋਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਟਿਕਾਊ, ਮੰਗ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਕਾਰਜਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
5. ਸਟੀਕ 〈111〉± 0.5° ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ: ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਅਤੇ RF ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਡਿਵਾਈਸ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ, ਨਿਰਮਾਣ ਦੌਰਾਨ ਸਹੀ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।
ਕੁੱਲ ਮਿਲਾ ਕੇ, ਪੀ-ਟਾਈਪ 4H/6H-P 3C-N ਟਾਈਪ 4-ਇੰਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ 〈111〉± 0.5° ਸਥਿਤੀ ਅਤੇ ਜ਼ੀਰੋ MPD ਗ੍ਰੇਡ ਦੇ ਨਾਲ ਉੱਨਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਬਰੇਕਡਾਊਨ ਵੋਲਟੇਜ ਇਸ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਵੋਲਟੇਜ ਸਵਿੱਚਾਂ, ਇਨਵਰਟਰਾਂ ਅਤੇ ਕਨਵਰਟਰਾਂ ਵਰਗੇ ਪਾਵਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਲਈ ਸੰਪੂਰਨ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਜ਼ੀਰੋ MPD ਗ੍ਰੇਡ ਨਿਊਨਤਮ ਨੁਕਸਾਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਨਾਜ਼ੁਕ ਉਪਕਰਨਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਘਟਾਓਣਾ ਦਾ ਖੋਰ ਅਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਠੋਰ ਵਾਤਾਵਰਨ ਵਿੱਚ ਟਿਕਾਊਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਸਟੀਕ 〈111〉± 0.5° ਸਥਿਤੀ ਨਿਰਮਾਣ ਦੌਰਾਨ ਸਟੀਕ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਨੂੰ RF ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
