ਵੇਫਰ ਕੈਰਿੰਗ ਲਈ SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਹੈਂਡਿੰਗ ਆਰਮ
SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਐਬਸਟਰੈਕਟ
SiC (ਸਿਲੀਕਨ ਕਾਰਬਾਈਡ) ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ-ਇਫੈਕਟਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ ਉੱਨਤ ਮਾਈਕ੍ਰੋਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸਾ ਹੈ। ਅਤਿ-ਸਾਫ਼, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ, ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਹੀ ਸਥਿਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀਆਂ ਮੰਗ ਵਾਲੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਐਂਡ-ਇਫੈਕਟਰ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ, ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਵਰਗੇ ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦਨ ਕਦਮਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਅਤੇ ਗੰਦਗੀ-ਮੁਕਤ ਆਵਾਜਾਈ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੇ ਉੱਤਮ ਪਦਾਰਥਕ ਗੁਣਾਂ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾਉਂਦੇ ਹੋਏ—ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਅਤਿਅੰਤ ਕਠੋਰਤਾ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ, ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ—SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ-ਇਫੈਕਟਰ ਤੇਜ਼ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਜਾਂ ਖੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵੀ ਬੇਮਿਸਾਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾਵਾਰ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਇਸਨੂੰ ਕਲੀਨਰੂਮ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿੱਥੇ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।
SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ
1. ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ
ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਉਤਪਾਦਨ ਦੌਰਾਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰੋਬੋਟਿਕ ਆਰਮਜ਼ ਜਾਂ ਵੈਕਿਊਮ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਸਿਸਟਮ 'ਤੇ ਮਾਊਂਟ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ 200mm ਅਤੇ 300mm ਵਰਗੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਆਕਾਰਾਂ ਦੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD), ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (PVD), ਐਚਿੰਗ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਸਮੇਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਨ—ਜਿੱਥੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ, ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀਆਂ, ਅਤੇ ਖੋਰ ਵਾਲੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਆਮ ਹਨ। SiC ਦੀ ਬੇਮਿਸਾਲ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਇਸਨੂੰ ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਗਿਰਾਵਟ ਦੇ ਅਜਿਹੇ ਕਠੋਰ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
2. ਕਲੀਨਰੂਮ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਅਨੁਕੂਲਤਾ
ਸਾਫ਼-ਸਫ਼ਾਈ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਸੈਟਿੰਗਾਂ ਵਿੱਚ, ਜਿੱਥੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, SiC ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਫਾਇਦੇ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸੰਘਣੀ, ਨਿਰਵਿਘਨ ਸਤ੍ਹਾ ਕਣਾਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਆਵਾਜਾਈ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ SiC ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰਾਂ ਨੂੰ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਕਸਟ੍ਰੀਮ ਅਲਟਰਾਵਾਇਲਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ (EUV) ਅਤੇ ਐਟੋਮਿਕ ਲੇਅਰ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (ALD) ਵਰਗੀਆਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿੱਥੇ ਸਫਾਈ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, SiC ਦਾ ਘੱਟ ਗੈਸਿੰਗ ਅਤੇ ਉੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਔਜ਼ਾਰਾਂ ਦੀ ਉਮਰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
3. ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਥਿਤੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ
ਉੱਨਤ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ, ਨਿਰੀਖਣ, ਅਤੇ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ। SiC ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਵਿੱਚ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਅਤੇ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਦਾ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਗੁਣਾਂਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਅੰਤ ਪ੍ਰਭਾਵਕ ਨੂੰ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਜਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਲੋਡ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵੀ ਆਪਣੀ ਢਾਂਚਾਗਤ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਦੌਰਾਨ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਇਕਸਾਰ ਰਹਿੰਦੇ ਹਨ, ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਸਕ੍ਰੈਚ, ਗਲਤ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ, ਜਾਂ ਮਾਪ ਗਲਤੀਆਂ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੇ ਹਨ - ਉਹ ਕਾਰਕ ਜੋ ਸਬ-5nm ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੋਡਾਂ 'ਤੇ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਨ।
SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
1. ਉੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ
SiC ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਵਿੱਚ ਬੇਮਿਸਾਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੀ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ ਅਕਸਰ 400 MPa ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਵਿਕਰਸ ਦੀ ਕਠੋਰਤਾ ਦੇ ਮੁੱਲ 2000 HV ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਵਰਤੋਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਵੀ, ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਣਾਅ, ਪ੍ਰਭਾਵ ਅਤੇ ਘਿਸਾਅ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਰੋਧਕ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। SiC ਦੀ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਦੌਰਾਨ ਡਿਫਲੈਕਸ਼ਨ ਨੂੰ ਵੀ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਸਹੀ ਅਤੇ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
2. ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ
SiC ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਦੇ ਸਭ ਤੋਂ ਕੀਮਤੀ ਗੁਣਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਉਹ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ - ਅਕਸਰ ਅਯੋਗ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ 1600°C ਤੱਕ - ਬਿਨਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਇਕਸਾਰਤਾ ਗੁਆਏ। ਉਹਨਾਂ ਦਾ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਘੱਟ ਗੁਣਾਂਕ (~4.0 x 10⁻⁶ /K) ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਦੇ ਅਧੀਨ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ CVD, PVD, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਐਨੀਲਿੰਗ ਵਰਗੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਸਵਾਲ ਅਤੇ ਜਵਾਬ
ਸਵਾਲ: ਵੇਫਰ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਵਿੱਚ ਕਿਹੜੀ ਸਮੱਗਰੀ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ?
ਏ：ਵੇਫਰ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉਨ੍ਹਾਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਤੋਂ ਬਣਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਕਤ, ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਭ ਤੋਂ ਉੱਨਤ ਅਤੇ ਪਸੰਦੀਦਾ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ। SiC ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਬਹੁਤ ਸਖ਼ਤ, ਥਰਮਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ, ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅੜਿੱਕਾ, ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਲਈ ਰੋਧਕ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਸਾਫ਼-ਸਫ਼ਾਈ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਨਾਜ਼ੁਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਕੁਆਰਟਜ਼ ਜਾਂ ਕੋਟੇਡ ਧਾਤਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, SiC ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਉੱਤਮ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਨਹੀਂ ਛੱਡਦਾ, ਜੋ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ।
