ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਲਈ SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਟ੍ਰੇ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਟ੍ਰੇ (SiC ਟ੍ਰੇ)
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਮੱਗਰੀ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲਾ ਸਿਰੇਮਿਕ ਕੰਪੋਨੈਂਟ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ LED ਉਤਪਾਦਨ ਵਰਗੇ ਉੱਨਤ ਉਦਯੋਗਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਮੁੱਖ ਕਾਰਜਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਵਜੋਂ ਸੇਵਾ ਕਰਨਾ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਜਾਂ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਹਾਇਤਾ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਉਪਜ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਅਸਧਾਰਨ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾਉਣਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।
ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
1. ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ
- ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: 140–300 W/m·K, ਰਵਾਇਤੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ (85 W/m·K) ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਹੱਦ ਤੱਕ ਪਛਾੜਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਤੇਜ਼ ਗਰਮੀ ਦੇ ਨਿਕਾਸੀ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਘਟਦਾ ਹੈ।
- ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ (2.6×10⁻⁶/℃), ਥਰਮਲ ਵਿਕਾਰ ਦੇ ਜੋਖਮਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।
2. ਮਕੈਨੀਕਲ ਗੁਣ
- ਉੱਚ ਤਾਕਤ: ਲਚਕੀਲਾ ਤਾਕਤ ≥320 MPa (20℃), ਸੰਕੁਚਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ।
- ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ: ਮੋਹਸ ਕਠੋਰਤਾ 9.5, ਹੀਰੇ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਦੂਜੇ ਸਥਾਨ 'ਤੇ, ਵਧੀਆ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ।
3. ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ
- ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਮਜ਼ਬੂਤ ਐਸਿਡ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ HF, H₂SO₄) ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ।
- ਗੈਰ-ਚੁੰਬਕੀ: ਅੰਦਰੂਨੀ ਚੁੰਬਕੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲਤਾ <1×10⁻⁶ emu/g, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਯੰਤਰਾਂ ਨਾਲ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਤੋਂ ਬਚਣਾ।
4. ਅਤਿਅੰਤ ਵਾਤਾਵਰਣ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ
- ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਟਿਕਾਊਤਾ: 1600–1900℃ ਤੱਕ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦਾ ਸੰਚਾਲਨ ਤਾਪਮਾਨ; 2200℃ ਤੱਕ ਥੋੜ੍ਹੇ ਸਮੇਂ ਦਾ ਵਿਰੋਧ (ਆਕਸੀਜਨ-ਮੁਕਤ ਵਾਤਾਵਰਣ)।
- ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਦਰਾੜ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਅਚਾਨਕ ਤਬਦੀਲੀਆਂ (ΔT >1000℃) ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ
| ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਖੇਤਰ | ਖਾਸ ਦ੍ਰਿਸ਼ਟੀਕੋਣ | ਤਕਨੀਕੀ ਮੁੱਲ। |
| ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ | ਵੇਫਰ ਐਚਿੰਗ (ICP), ਪਤਲੀ-ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (MOCVD), CMP ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ | ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਇਕਸਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ; ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਵੇਫਰ ਵਾਰਪੇਜ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ। |
| LED ਉਤਪਾਦਨ | ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧਾ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, GaN), ਵੇਫਰ ਡਾਈਸਿੰਗ, ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਬਹੁ-ਕਿਸਮ ਦੇ ਨੁਕਸਾਂ ਨੂੰ ਦਬਾਉਂਦਾ ਹੈ, LED ਚਮਕਦਾਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। |
| ਫੋਟੋਵੋਲਟੈਕ ਉਦਯੋਗ | ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਿੰਟਰਿੰਗ ਭੱਠੀਆਂ, PECVD ਉਪਕਰਣ ਸਹਾਇਤਾ | ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਝਟਕਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਉਮਰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ। |
| ਲੇਜ਼ਰ ਅਤੇ ਆਪਟਿਕਸ | ਹਾਈ-ਪਾਵਰ ਲੇਜ਼ਰ ਕੂਲਿੰਗ ਸਬਸਟਰੇਟ, ਆਪਟੀਕਲ ਸਿਸਟਮ ਸਪੋਰਟ ਕਰਦਾ ਹੈ | ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਗਰਮੀ ਦੇ ਨਿਕਾਸੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਿਆਂ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। |
| ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣਾਤਮਕ ਯੰਤਰ | TGA/DSC ਸੈਂਪਲ ਹੋਲਡਰ | ਘੱਟ ਤਾਪ ਸਮਰੱਥਾ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਮਾਪ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। |
ਉਤਪਾਦਨ ਦੇ ਫਾਇਦੇ
- ਵਿਆਪਕ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ: ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਤਾਕਤ, ਅਤੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਐਲੂਮਿਨਾ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਤੋਂ ਕਿਤੇ ਵੱਧ ਹੈ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸੰਚਾਲਨ ਮੰਗਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
- ਹਲਕਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ: 3.1–3.2 g/cm³ (ਸਟੀਲ ਦਾ 40%) ਦੀ ਘਣਤਾ, ਇਨਰਸ਼ੀਅਲ ਲੋਡ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਗਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ: ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ 1600℃ 'ਤੇ 5 ਸਾਲਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸੰਚਾਲਨ ਲਾਗਤਾਂ 30% ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਅਨੁਕੂਲਤਾ: ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਸਮਤਲਤਾ ਗਲਤੀ <15 μm ਦੇ ਨਾਲ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਜਿਓਮੈਟਰੀ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪੋਰਸ ਸਕਸ਼ਨ ਕੱਪ, ਮਲਟੀ-ਲੇਅਰ ਟ੍ਰੇ) ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
| ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਸ਼੍ਰੇਣੀ | ਸੂਚਕ |
| ਸਰੀਰਕ ਗੁਣ। | |
| ਘਣਤਾ | ≥3.10 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (20℃) | 320–410 MPa |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (20℃) | 140–300 ਵਾਟ/(ਮੀਟਰ·ਕੇ) |
| ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ (Chemical factories) | |
| ਐਸਿਡ ਰੋਧ (HF/H₂SO₄) | 24 ਘੰਟੇ ਡੁੱਬਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਕੋਈ ਜੰਗ ਨਹੀਂ |
| ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ | |
| ਸਮਤਲਤਾ | ≤15 μm (300×300 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) |
| ਸਤ੍ਹਾ ਖੁਰਦਰੀ (Ra) | ≤0.4 ਮਾਈਕ੍ਰੋਨ |
XKH ਦੀਆਂ ਸੇਵਾਵਾਂ
XKH ਕਸਟਮ ਵਿਕਾਸ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ, ਅਤੇ ਸਖ਼ਤ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਫੈਲਾਉਂਦੇ ਵਿਆਪਕ ਉਦਯੋਗਿਕ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਕਸਟਮ ਵਿਕਾਸ ਲਈ, ਇਹ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ (>99.999%) ਅਤੇ ਪੋਰਸ (30-50% ਪੋਰੋਸਿਟੀ) ਸਮੱਗਰੀ ਹੱਲ ਪੇਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਅਤੇ ਏਰੋਸਪੇਸ ਵਰਗੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਜਿਓਮੈਟਰੀ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ 3D ਮਾਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਸਿਮੂਲੇਸ਼ਨ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਇੱਕ ਸੁਚਾਰੂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦੀ ਹੈ: ਪਾਊਡਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ → ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ/ਡ੍ਰਾਈ ਪ੍ਰੈਸਿੰਗ → 2200°C ਸਿੰਟਰਿੰਗ → CNC/ਡਾਇਮੰਡ ਪੀਸਣਾ → ਨਿਰੀਖਣ, ਨੈਨੋਮੀਟਰ-ਪੱਧਰ ਦੀ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਅਤੇ ±0.01 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਅਯਾਮੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ। ਗੁਣਵੱਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਪੂਰੀ-ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟੈਸਟਿੰਗ (XRD ਰਚਨਾ, SEM ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਟ੍ਰਕਚਰ, 3-ਪੁਆਇੰਟ ਮੋੜਨਾ) ਅਤੇ ਤਕਨੀਕੀ ਸਹਾਇਤਾ (ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲਤਾ, 24/7 ਸਲਾਹ-ਮਸ਼ਵਰਾ, 48-ਘੰਟੇ ਨਮੂਨਾ ਡਿਲੀਵਰੀ) ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ, ਜੋ ਉੱਨਤ ਉਦਯੋਗਿਕ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਲਈ ਭਰੋਸੇਯੋਗ, ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਅਕਸਰ ਪੁੱਛੇ ਜਾਂਦੇ ਸਵਾਲ (FAQ)
1. ਸਵਾਲ: ਕਿਹੜੇ ਉਦਯੋਗ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਟ੍ਰੇਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ?
A: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ (ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ), ਸੂਰਜੀ ਊਰਜਾ (PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ), ਮੈਡੀਕਲ ਉਪਕਰਣ (MRI ਹਿੱਸੇ), ਅਤੇ ਏਅਰੋਸਪੇਸ (ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ) ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਹੈ।
2. ਸਵਾਲ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੁਆਰਟਜ਼/ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੀਆਂ ਟ੍ਰੇਆਂ ਤੋਂ ਕਿਵੇਂ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰਦਾ ਹੈ?
A: ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (1800°C ਬਨਾਮ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਦਾ 1100°C), ਜ਼ੀਰੋ ਚੁੰਬਕੀ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ, ਅਤੇ ਲੰਮੀ ਉਮਰ (5+ ਸਾਲ ਬਨਾਮ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਦਾ 6-12 ਮਹੀਨੇ)।
3. ਸਵਾਲ: ਕੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟ੍ਰੇ ਤੇਜ਼ਾਬੀ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ?
A: ਹਾਂ। HF, H2SO4, ਅਤੇ NaOH ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ <0.01mm ਖੋਰ/ਸਾਲ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਫਾਈ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
4. ਸਵਾਲ: ਕੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟ੍ਰੇਆਂ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹਨ?
A: ਹਾਂ। ਵੈਕਿਊਮ ਪਿਕਅੱਪ ਅਤੇ ਰੋਬੋਟਿਕ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜਿਸਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਸਮਤਲਤਾ <0.01mm ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਫੈਬਰਿਕਾਂ ਵਿੱਚ ਕਣਾਂ ਦੇ ਦੂਸ਼ਿਤ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਚਿਆ ਜਾ ਸਕੇ।
5. ਸਵਾਲ: ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਲਾਗਤ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕੀ ਹੈ?
A: ਉੱਚ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਲਾਗਤ (3-5 ਗੁਣਾ ਕੁਆਰਟਜ਼) ਪਰ ਵਧੀ ਹੋਈ ਉਮਰ, ਘੱਟ ਡਾਊਨਟਾਈਮ, ਅਤੇ ਵਧੀਆ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਤੋਂ ਊਰਜਾ ਬੱਚਤ ਦੇ ਕਾਰਨ 30-50% ਘੱਟ TCO।
