ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀ
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
ਕੁਆਰਟਜ਼ ਗਲਾਸ ਦੀ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀ ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕੈਰੀਅਰ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ SiC ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਐਪੀਟੈਕਸੀ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਪ੍ਰਸਾਰ ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਰੱਖਣ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ।
ਪਾਵਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਅਤੇ ਚੌੜੇ ਬੈਂਡਗੈਪ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੇ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਰਵਾਇਤੀ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਵਿਗਾੜ, ਗੰਭੀਰ ਕਣ ਗੰਦਗੀ, ਅਤੇ ਛੋਟੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਵਰਗੀਆਂ ਸੀਮਾਵਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ, ਜੋ ਕਿ ਉੱਤਮ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ, ਘੱਟ ਗੰਦਗੀ, ਅਤੇ ਵਧੇ ਹੋਏ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਦੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਰੱਖਦੀਆਂ ਹਨ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਬਦਲ ਰਹੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ SiC ਡਿਵਾਈਸ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਪਸੰਦੀਦਾ ਵਿਕਲਪ ਬਣ ਰਹੀਆਂ ਹਨ।
ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
1. ਪਦਾਰਥਕ ਫਾਇਦੇ
-
ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ SiC ਤੋਂ ਨਿਰਮਿਤਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਤਾਕਤ.
-
ਪਿਘਲਣ ਦਾ ਬਿੰਦੂ 2700°C ਤੋਂ ਉੱਪਰ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ, ਅਤਿਅੰਤ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
2. ਥਰਮਲ ਗੁਣ
-
ਤੇਜ਼ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਤਾਪ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਲਈ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਵੇਫਰ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ।
-
ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ (CTE) ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ SiC ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਝੁਕਣ ਅਤੇ ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
3. ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ
-
ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵਾਯੂਮੰਡਲ (H₂, N₂, Ar, NH₃, ਆਦਿ) ਦੇ ਅਧੀਨ ਸਥਿਰ।
-
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਸੜਨ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ।
4. ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ
-
ਨਿਰਵਿਘਨ ਅਤੇ ਸੰਘਣੀ ਸਤ੍ਹਾ ਕਣਾਂ ਦੇ ਨਿਕਾਸ ਅਤੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
-
ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਆਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਭਾਰ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
5. ਲਾਗਤ ਕੁਸ਼ਲਤਾ
-
ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਨਾਲੋਂ 3-5 ਗੁਣਾ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ।
-
ਘੱਟ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ, ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਅਤੇ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲਾਗਤ ਘਟਦੀ ਹੈ।
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ
-
SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀ: ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧੇ ਦੌਰਾਨ 4-ਇੰਚ, 6-ਇੰਚ, ਅਤੇ 8-ਇੰਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨਾ।
-
ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ: SiC MOSFETs, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs, ਅਤੇ ਹੋਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼।
-
ਥਰਮਲ ਇਲਾਜ: ਐਨੀਲਿੰਗ, ਨਾਈਟ੍ਰੇਡੇਸ਼ਨ, ਅਤੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ।
-
ਆਕਸੀਕਰਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ: ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਆਕਸੀਕਰਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਲਈ ਸਥਿਰ ਵੇਫਰ ਸਹਾਇਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮ।
ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
| ਆਈਟਮ | ਨਿਰਧਾਰਨ |
|---|---|
| ਸਮੱਗਰੀ | ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) |
| ਵੇਫਰ ਦਾ ਆਕਾਰ | 4-ਇੰਚ / 6-ਇੰਚ / 8-ਇੰਚ (ਅਨੁਕੂਲਿਤ) |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ। | ≤ 1800°C |
| ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ CTE | 4.2 × 10⁻⁶ /K (SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਨੇੜੇ) |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ | 120–200 ਵਾਟ/ਮੀਟਰ·ਕੇ |
| ਸਤ੍ਹਾ ਖੁਰਦਰੀ | ਰਾ < 0.2 μm |
| ਸਮਾਨਤਾ | ±0.1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ | ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਨਾਲੋਂ ≥ 3× ਲੰਬਾ |
ਤੁਲਨਾ: ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀ ਬਨਾਮ SiC ਕਿਸ਼ਤੀ
| ਮਾਪ | ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀ | ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ. ਕਿਸ਼ਤੀ |
|---|---|---|
| ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ | ≤ 1200°C, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਵਿਗਾੜ। | ≤ 1800°C, ਥਰਮਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ |
| ਸੀ.ਟੀ.ਈ. ਮੈਚ ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ. ਨਾਲ | ਵੱਡਾ ਬੇਮੇਲ, ਵੇਫਰ ਤਣਾਅ ਦਾ ਜੋਖਮ | ਮੇਲ ਬੰਦ ਕਰੋ, ਵੇਫਰ ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ |
| ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ | ਉੱਚ, ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ | ਨੀਵੀਂ, ਨਿਰਵਿਘਨ ਅਤੇ ਸੰਘਣੀ ਸਤ੍ਹਾ |
| ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ | ਛੋਟਾ, ਵਾਰ-ਵਾਰ ਬਦਲਣਾ | ਲੰਮਾ, 3-5× ਲੰਬਾ ਜੀਵਨ ਕਾਲ |
| ਢੁਕਵੀਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ | ਰਵਾਇਤੀ ਸੀ ਐਪੀਟੈਕਸੀ | SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਅਤੇ ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਿਤ |
ਅਕਸਰ ਪੁੱਛੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਵਾਲ – ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ
1. SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀ ਕੀ ਹੈ?
ਇੱਕ SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀ ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕੈਰੀਅਰ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਤੋਂ ਬਣੀ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਐਪੀਟੈਕਸੀ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਪ੍ਰਸਾਰ ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਰੱਖਣ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਰਵਾਇਤੀ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਵਧੀਆ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ, ਘੱਟ ਗੰਦਗੀ ਅਤੇ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।
2. ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਦੀ ਬਜਾਏ SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਕਿਉਂ ਚੁਣੋ?
-
ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਕੁਆਰਟਜ਼ (≤1200°C) ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ 1800°C ਤੱਕ ਸਥਿਰ।
-
ਬਿਹਤਰ CTE ਮੈਚ: SiC ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਦੇ ਨੇੜੇ, ਵੇਫਰ ਤਣਾਅ ਅਤੇ ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।
-
ਘੱਟ ਕਣ ਉਤਪਾਦਨ: ਨਿਰਵਿਘਨ, ਸੰਘਣੀ ਸਤ੍ਹਾ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
-
ਲੰਮੀ ਉਮਰ: ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਨਾਲੋਂ 3-5 ਗੁਣਾ ਲੰਬੀ, ਮਾਲਕੀ ਦੀ ਲਾਗਤ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
3. SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਕਿਹੜੇ ਵੇਫਰ ਆਕਾਰਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ?
ਅਸੀਂ ਮਿਆਰੀ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਾਂ4-ਇੰਚ, 6-ਇੰਚ, ਅਤੇ 8-ਇੰਚਵੇਫਰ, ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕਰਨ ਦੇ ਨਾਲ।
4. SiC ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਿਹੜੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ?
-
SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧਾ
-
ਪਾਵਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਡਿਵਾਈਸ ਨਿਰਮਾਣ (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
-
ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਐਨੀਲਿੰਗ, ਨਾਈਟ੍ਰੇਡੇਸ਼ਨ, ਅਤੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ
-
ਆਕਸੀਕਰਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ
ਸਾਡੇ ਬਾਰੇ
XKH ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਆਪਟੀਕਲ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਅਤੇ ਨਵੀਂ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਉੱਚ-ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਕਾਸ, ਉਤਪਾਦਨ ਅਤੇ ਵਿਕਰੀ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹੈ। ਸਾਡੇ ਉਤਪਾਦ ਆਪਟੀਕਲ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ, ਖਪਤਕਾਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਅਤੇ ਫੌਜ ਦੀ ਸੇਵਾ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਅਸੀਂ ਸੈਫਾਇਰ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ, ਮੋਬਾਈਲ ਫੋਨ ਲੈਂਸ ਕਵਰ, ਸਿਰੇਮਿਕਸ, LT, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ SIC, ਕੁਆਰਟਜ਼, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵੇਫਰ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ। ਹੁਨਰਮੰਦ ਮੁਹਾਰਤ ਅਤੇ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਅਸੀਂ ਗੈਰ-ਮਿਆਰੀ ਉਤਪਾਦ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ ਉੱਤਮਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਾਂ, ਜਿਸਦਾ ਉਦੇਸ਼ ਇੱਕ ਮੋਹਰੀ ਆਪਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਉੱਚ-ਤਕਨੀਕੀ ਉੱਦਮ ਬਣਨਾ ਹੈ।










