100mm 4inch GaN on Sapphire Epi-layer Wafer Gallium nitride epitaxial wafer
GaN ਨੀਲੇ LED ਕੁਆਂਟਮ ਵੇਲ ਬਣਤਰ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ।ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹੈ
(1) ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪਕਾਉਣਾ, ਨੀਲਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਪਹਿਲਾਂ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ 1050℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਉਦੇਸ਼ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨਾ ਹੈ;
(2) ਜਦੋਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 510℃ ਤੱਕ ਘੱਟ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਨੀਲਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ 30nm ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਘੱਟ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੀ GaN/AlN ਬਫਰ ਪਰਤ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ;
(3) ਤਾਪਮਾਨ 10 ℃ ਤੱਕ ਵਧਦਾ ਹੈ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਅਮੋਨੀਆ, ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲਗੈਲਿਅਮ ਅਤੇ ਸਿਲੇਨ ਦਾ ਟੀਕਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਕ੍ਰਮਵਾਰ ਅਨੁਸਾਰੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ 4um ਮੋਟਾਈ ਦੇ ਸਿਲੀਕੋਨ-ਡੋਪਡ N-ਟਾਈਪ GaN ਨੂੰ ਵਧਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ;
(4) ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲ ਗੈਲਿਅਮ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨੂੰ 0.15um ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਡੋਪਡ N-ਟਾਈਪ A⒑ ਮਹਾਂਦੀਪਾਂ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਗਿਆ ਸੀ;
(5) 50nm Zn-doped InGaN ਨੂੰ ਕ੍ਰਮਵਾਰ 8O0℃ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲਗੈਲਿਅਮ, ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲਿੰਡਿਅਮ, ਡਾਈਥਾਈਲਜ਼ਿੰਕ ਅਤੇ ਅਮੋਨੀਆ ਦਾ ਟੀਕਾ ਲਗਾ ਕੇ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਕੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ;
(6) ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ 1020 ℃ ਤੱਕ ਵਧਾ ਦਿੱਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲਾਲੂਮੀਨੀਅਮ, ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲਗੈਲਿਅਮ ਅਤੇ ਬਿਸ (ਸਾਈਕਲੋਪੇਂਟਾਡੀਨਾਇਲ) ਮੈਗਨੀਸ਼ੀਅਮ ਨੂੰ 0.15um Mg ਡੋਪਡ P-ਟਾਈਪ AlGaN ਅਤੇ 0.5um Mg ਡੋਪਡ P-ਟਾਈਪ G ਬਲੱਡ ਗਲੂਕੋਜ਼ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਟੀਕਾ ਲਗਾਇਆ ਗਿਆ ਸੀ;
(7) ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੀ ਪੀ-ਟਾਈਪ ਗਾਐਨ ਸਿਬੂਯਾਨ ਫਿਲਮ 700℃ 'ਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ ਐਨੀਲਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ;
(8) N-ਟਾਈਪ G ਸਟੈਸੀਸ ਸਤਹ ਨੂੰ ਪ੍ਰਗਟ ਕਰਨ ਲਈ ਪੀ-ਟਾਈਪ G ਸਟੈਸੀਸ ਸਤਹ 'ਤੇ ਐਚਿੰਗ;
(9) p-GaNI ਸਤਹ 'ਤੇ Ni/Au ਸੰਪਰਕ ਪਲੇਟਾਂ ਦਾ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ll-GaN ਸਤਹ 'ਤੇ △/Al ਸੰਪਰਕ ਪਲੇਟਾਂ ਦਾ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ।
ਨਿਰਧਾਰਨ
| ਆਈਟਮ | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| ਮਾਪ | e 100 mm ± 0.1 mm | |
| ਮੋਟਾਈ | 4.5±0.5 um ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ | |
| ਸਥਿਤੀ | ਸੀ-ਪਲੇਨ(0001) ±0.5° | |
| ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਕਿਸਮ | N-ਕਿਸਮ (ਅਨਡੋਪਡ) | N-ਕਿਸਮ (Si-doped) |
| ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ(300K) | < 0.5 Q・cm | < 0.05 Q・cm |
| ਕੈਰੀਅਰ ਇਕਾਗਰਤਾ | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 |
| ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ | ~ 300 ਸੈ.ਮੀ2/ਬਨਾਮ | ~ 200 ਸੈ.ਮੀ2/ਬਨਾਮ |
| ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਘਣਤਾ | 5x10 ਤੋਂ ਘੱਟ8cm-2(XRD ਦੇ FWHM ਦੁਆਰਾ ਗਿਣਿਆ ਗਿਆ) | |
| ਘਟਾਓਣਾ ਬਣਤਰ | ਨੀਲਮ 'ਤੇ GaN (ਮਿਆਰੀ: SSP ਵਿਕਲਪ: DSP) | |
| ਵਰਤੋਂ ਯੋਗ ਸਤਹ ਖੇਤਰ | > 90% | |
| ਪੈਕੇਜ | ਇੱਕ ਕਲਾਸ 100 ਸਾਫ਼ ਕਮਰੇ ਦੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, 25pcs ਦੀਆਂ ਕੈਸੇਟਾਂ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਵੇਫਰ ਕੰਟੇਨਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ ਪੈਕ ਕੀਤਾ ਗਿਆ। | |
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
