ਕੈਰੀਅਰਸੀ-ਪਲੇਨ ਡੀਐਸਪੀ ਟੀਟੀਵੀ ਲਈ 156mm 159mm 6 ਇੰਚ ਨੀਲਮ ਵੇਫਰ
ਨਿਰਧਾਰਨ
| ਆਈਟਮ | 6-ਇੰਚ ਸੀ-ਪਲੇਨ (0001) ਸੈਫਾਇਰ ਵੇਫਰਸ | |
| ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਮੱਗਰੀ | 99,999%, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ Al2O3 | |
| ਗ੍ਰੇਡ | ਪ੍ਰਧਾਨ, ਐਪੀ-ਤਿਆਰ | |
| ਸਤਹ ਸਥਿਤੀ | ਸੀ-ਜਹਾਜ਼(0001) | |
| C-ਪਲੇਨ ਆਫ-ਐਂਗਲ M-ਧੁਰੇ ਵੱਲ 0.2 +/- 0.1° ਵੱਲ | ||
| ਵਿਆਸ | 100.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ +/- 0.1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ | |
| ਮੋਟਾਈ | 650 μm +/- 25 μm | |
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ | ਸੀ-ਪਲੇਨ(00-01) +/- 0.2° | |
| ਸਿੰਗਲ ਸਾਈਡ ਪਾਲਿਸ਼ | ਫਰੰਟ ਸਤ੍ਹਾ | ਐਪੀ-ਪਾਲਿਸ਼ਡ, Ra <0.2 nm (AFM ਦੁਆਰਾ) |
| (ਐਸ.ਐਸ.ਪੀ.) | ਪਿਛਲੀ ਸਤ੍ਹਾ | ਵਧੀਆ ਜ਼ਮੀਨ, Ra = 0.8 μm ਤੋਂ 1.2 μm |
| ਡਬਲ ਸਾਈਡ ਪਾਲਿਸ਼ | ਫਰੰਟ ਸਤ੍ਹਾ | ਐਪੀ-ਪਾਲਿਸ਼ਡ, Ra <0.2 nm (AFM ਦੁਆਰਾ) |
| (ਡੀ.ਐਸ.ਪੀ.) | ਪਿਛਲੀ ਸਤ੍ਹਾ | ਐਪੀ-ਪਾਲਿਸ਼ਡ, Ra <0.2 nm (AFM ਦੁਆਰਾ) |
| ਟੀ.ਟੀ.ਵੀ | < 20 μm | |
| ਬੋ | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| ਸਫਾਈ / ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਕਲਾਸ 100 ਕਲੀਨਰੂਮ ਦੀ ਸਫਾਈ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਪੈਕੇਜਿੰਗ, | |
| ਇੱਕ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਜਾਂ ਸਿੰਗਲ ਪੀਸ ਪੈਕਿੰਗ ਵਿੱਚ 25 ਟੁਕੜੇ। | ||
ਕਿਲੋਪੋਲੋਸ ਵਿਧੀ (ਕੇਵਾਈ ਵਿਧੀ) ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ ਚੀਨ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਸਾਰੀਆਂ ਕੰਪਨੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਅਤੇ ਆਪਟਿਕਸ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਨੀਲਮ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਆਕਸਾਈਡ ਨੂੰ 2100 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਇੱਕ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਿੱਚ ਪਿਘਲਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਰੂਸੀਬਲ ਟੰਗਸਟਨ ਜਾਂ ਮੋਲੀਬਡੇਨਮ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ ਐਲੂਮਿਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਟੀਕ ਓਰੀਐਂਟਡ ਸੀਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਡੁਬੋਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਬੀਜ ਦੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਉੱਪਰ ਵੱਲ ਖਿੱਚਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ, ਖਿੱਚਣ ਦੀ ਦਰ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਦਰ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਨਾਲ, ਪਿਘਲਣ ਤੋਂ ਇੱਕ ਵੱਡਾ, ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ, ਲਗਭਗ ਬੇਲਨਾਕਾਰ ਇੰਗਟ ਪੈਦਾ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੀਲਮ ਇੰਗੌਟਸ ਦੇ ਵਧਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਸਿਲੰਡਰਕ ਡੰਡੇ ਵਿੱਚ ਡ੍ਰਿੱਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਫਿਰ ਲੋੜੀਂਦੀ ਵਿੰਡੋ ਮੋਟਾਈ ਵਿੱਚ ਕੱਟੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਲੋੜੀਦੀ ਸਤਹ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ।
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
