8 ਇੰਚ 200mm 4H-N SiC ਵੇਫਰ ਕੰਡਕਟਿਵ ਡਮੀ ਖੋਜ ਗ੍ਰੇਡ
ਇਸਦੀਆਂ ਵਿਲੱਖਣ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ, 200mm SiC ਵੇਫਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ, ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ-ਰੋਧਕ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਉਪਕਰਣ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। 8 ਇੰਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਕੀਮਤ ਹੌਲੀ ਹੌਲੀ ਘੱਟ ਰਹੀ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਧੇਰੇ ਉੱਨਤ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮੰਗ ਵਧਦੀ ਹੈ। ਹਾਲੀਆ ਟੈਕਨੋਲੋਜੀ ਵਿਕਾਸ 200mm SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੇ ਪੈਮਾਨੇ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵੱਲ ਅਗਵਾਈ ਕਰਦਾ ਹੈ। Si ਅਤੇ GaAs ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ SiC ਵੇਫਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਮੁੱਖ ਫਾਇਦੇ: ਬਰਫਬਾਰੀ ਦੇ ਟੁੱਟਣ ਦੇ ਦੌਰਾਨ 4H-SiC ਦੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਤਾਕਤ Si ਅਤੇ GaAs ਲਈ ਸੰਬੰਧਿਤ ਮੁੱਲਾਂ ਨਾਲੋਂ ਵੱਧ ਤੀਬਰਤਾ ਦੇ ਕ੍ਰਮ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੈ। ਇਹ ਆਨ-ਸਟੇਟ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਰੋਨ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਕਮੀ ਵੱਲ ਖੜਦਾ ਹੈ। ਘੱਟ ਆਨ-ਸਟੇਟ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ, ਉੱਚ ਮੌਜੂਦਾ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਦੇ ਨਾਲ, ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਛੋਟੀ ਡਾਈ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। SiC ਦੀ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਚਿੱਪ ਦੇ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ. SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰਿਤ ਯੰਤਰਾਂ ਦੀਆਂ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਸਮੇਂ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰ ਹੋਣ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਸਥਿਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਉੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਖ਼ਤ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਰੋਧਕ ਹੈ, ਜੋ ਚਿੱਪ ਦੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਗੁਣਾਂ ਨੂੰ ਖਰਾਬ ਨਹੀਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਾ ਉੱਚ ਸੀਮਤ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ (6000C ਤੋਂ ਵੱਧ) ਤੁਹਾਨੂੰ ਕਠੋਰ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਹਾਲਤਾਂ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਉਪਕਰਣ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਅਸੀਂ ਛੋਟੇ ਬੈਚ 200mmSiC ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਨਿਰੰਤਰ ਅਤੇ ਨਿਰੰਤਰ ਸਪਲਾਈ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ ਅਤੇ ਵੇਅਰਹਾਊਸ ਵਿੱਚ ਕੁਝ ਸਟਾਕ ਰੱਖ ਸਕਦੇ ਹਾਂ।
ਨਿਰਧਾਰਨ
| ਨੰਬਰ | ਆਈਟਮ | ਯੂਨਿਟ | ਉਤਪਾਦਨ | ਖੋਜ | ਨਕਲੀ |
| 1. ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 1.1 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ਸਤਹ ਸਥਿਤੀ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2. ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 2.1 | ਡੋਪੈਂਟ | -- | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ |
| 2.2 | ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3. ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||||
| 3.1 | ਵਿਆਸ | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ਮੋਟਾਈ | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | ਨੌਚ ਸਥਿਤੀ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ਨੌਚ ਡੂੰਘਾਈ | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | ਟੀ.ਟੀ.ਵੀ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ਕਮਾਨ | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ਵਾਰਪ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4. ਬਣਤਰ | |||||
| 4.1 | ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ਧਾਤ ਸਮੱਗਰੀ | ਪਰਮਾਣੂ/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ਟੀ.ਐੱਸ.ਡੀ | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ਬੀ.ਪੀ.ਡੀ | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||||
| 5.1 | ਸਾਹਮਣੇ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ਸਤਹ ਮੁਕੰਮਲ | -- | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ਸੀ-ਫੇਸ CMP |
| 5.3 | ਕਣ | ea/wafer | ≤100(ਆਕਾਰ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ਸਕ੍ਰੈਚ | ea/wafer | ≤5, ਕੁੱਲ ਲੰਬਾਈ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | ਕਿਨਾਰਾ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ/ਕਰੈਕ/ਦਾਗ/ਗੰਦਗੀ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 5.6 | ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਖੇਤਰਫਲ ≤10% | ਖੇਤਰਫਲ ≤30% |
| 5.7 | ਸਾਹਮਣੇ ਮਾਰਕਿੰਗ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ |
| 6. ਵਾਪਸ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||||
| 6.1 | ਵਾਪਸ ਮੁਕੰਮਲ | -- | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ | ਸੀ-ਚਿਹਰਾ ਐਮ.ਪੀ |
| 6.2 | ਸਕ੍ਰੈਚ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ਪਿੱਛੇ ਨੁਕਸ ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ | -- | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA |
| 6.4 | ਵਾਪਸ ਮੋਟਾਪਨ | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ਬੈਕ ਮਾਰਕਿੰਗ | -- | ਨੌਚ | ਨੌਚ | ਨੌਚ |
| 7. ਕਿਨਾਰਾ | |||||
| 7.1 | ਕਿਨਾਰਾ | -- | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ | ਚੈਂਫਰ |
| 8. ਪੈਕੇਜ | |||||
| 8.1 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਏਪੀ-ਤਿਆਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ |
| 8.2 | ਪੈਕੇਜਿੰਗ | -- | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਬਹੁ-ਵਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ |
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
