6 ਇੰਚ HPSI SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਅਰਧ-ਅਪਮਾਨ ਕਰਨ ਵਾਲੇ SiC ਵੇਫਰ
PVT ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ SiC ਵਿਕਾਸ ਤਕਨਾਲੋਜੀ
SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਲਈ ਮੌਜੂਦਾ ਵਾਧੇ ਦੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਤਿੰਨ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਵਿਧੀ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਦੀ ਵਿਧੀ, ਅਤੇ ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਪੜਾਅ ਆਵਾਜਾਈ (PVT) ਵਿਧੀ।ਉਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, PVT ਵਿਧੀ SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਖੋਜ ਕੀਤੀ ਅਤੇ ਪਰਿਪੱਕ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਦੀਆਂ ਤਕਨੀਕੀ ਮੁਸ਼ਕਲਾਂ ਹਨ:
(1) ਬੰਦ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਉੱਪਰ 2300 ° C ਦੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ "ਸੋਲਿਡ - ਗੈਸ - ਠੋਸ" ਪਰਿਵਰਤਨ ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ, ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਚੱਕਰ ਲੰਬਾ, ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ, ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਟਿਊਬਿਊਲਸ, ਸੰਮਿਲਨ ਅਤੇ ਹੋਰ ਨੁਕਸ.
(2) ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ, 200 ਤੋਂ ਵੱਧ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕਿਸਮਾਂ ਸਮੇਤ, ਪਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਰਫ ਇੱਕ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕਿਸਮ ਦਾ ਉਤਪਾਦਨ, ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕਿਸਮ ਦੇ ਪਰਿਵਰਤਨ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਮਲਟੀ-ਟਾਈਪ ਇਨਕਲੂਸ਼ਨ ਨੁਕਸ, ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਖਾਸ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕਿਸਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ, ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, 4H-ਕਿਸਮ ਦੀ ਮੌਜੂਦਾ ਮੁੱਖ ਧਾਰਾ।
(3) ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗ੍ਰੋਥ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡਿਐਂਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੂਲ ਅੰਦਰੂਨੀ ਤਣਾਅ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਵਿਸਥਾਪਨ, ਨੁਕਸ ਅਤੇ ਹੋਰ ਨੁਕਸ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
(4) ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਬਾਹਰੀ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ 'ਤੇ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਬਹੁਤ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਜਾਂ ਦਿਸ਼ਾ-ਨਿਰਦੇਸ਼ ਡੋਪਡ ਕੰਡਕਟਿਵ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ।ਆਰਐਫ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਲਈ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਅਤੇ ਖਾਸ ਕਿਸਮ ਦੇ ਬਿੰਦੂ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਕੇ ਬਿਜਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਚਿੱਤਰ
